所述九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟异丁基烷基醚组成。5.权利要求14中任一项的组合物，特征在于，所述组合物是共沸的或共沸型的。6.权利要求5的组合物，特征在于，所述组合物包含515重量％的甲基四氢呋喃和8595重量％的九氟丁基甲基醚。7.共沸组合物，其包含8重量％的甲基四氢呋喃和92重量％的九氟丁基甲基醚，并且在大气压()下具有°C的沸点。8.权利要求5的组合物，特征在于，所述组合物包含1040重量％的甲基四氢呋喃和6090重量％的九氟丁基乙基醚。9.共沸组合物，其包含％的甲基四氢呋喃和％的九氟丁基乙基醚，并且在大气压()下具有°C的沸点。10.制冷剂，特征在于，其包含前述权利要求中任一项的组合物。11.溶剂，特征在于，其包含权利要求19中任一项的组合物。全文摘要本发明涉及含有全氟丁基醚的共沸或共沸型混合物或组合物。更具体地说，本发明涉及含有至少一种九氟丁基烷基醚和可生物降解化合物的组合物，该组合物可用作溶剂或制冷剂。BOE蚀刻液，让您的蚀刻工艺更上一层楼。江苏了解BOE蚀刻液主要作用

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    其扩散管深入到所述再生液调配缸中；液体泵，其一端通过管道连接所述再生液调配缸的循环出液口，另一端通过管道连接所述射流器的进液口，用于将所述再生液调配缸中的电解后液通过所述管道抽取至所述射流器的进液口。进一步地，所述酸性蚀刻液电解后液处理系统还包括：曝气装置，用于向所述再生液调配缸中的电解后液输送气体以进行搅拌。进一步地，所述酸性蚀刻液电解后液处理系统还包括：后续处理系统，用于向经过所述再生液调配缸处理过的电解后液中加入氯化钠、盐酸并搅拌均匀。更进一步地，所述电解槽的阳极为石墨电极，阴极为钛或钛合金板状电极。更进一步地，所述电解槽中阴极与阳极之间的距离为55mm。更进一步地，所述电解槽的电流密度为300a/m2。本实用新型所提供的酸性蚀刻液电解后液处理系统通过简单的结构实现了电解后废液的再生利用，可节约能耗和药品，提高经济效益。附图说明图1是本实用新型实施例提供的酸性蚀刻液电解后液处理系统的结构图；图2是本实用新型第二实施例提供的酸性蚀刻液电解后液处理系统的结构图。具体实施方式为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解。

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    本发明涉及一种提高氮化硅蚀刻均匀性的酸性蚀刻液，通过在磷酸中添加醇醚类和表面活性剂，来改善磷酸的浸润性和表面张力，使之均匀蚀刻氮化硅。背景技术：氮化硅是一种具有很高的化学稳定性的绝缘材料，氢氟酸和热磷酸能对氮化硅进行缓慢地腐蚀。在半导体制造工艺中，一般是采用热磷酸对氮化硅进行蚀刻，一直到了90nm的制程也是采用热磷酸来蚀刻氮化硅。但随着半导体制程的飞速发展，器件的特征尺寸越来越小，集成度越来越高，对制造工艺中的各工艺节点要求也越来越高，如蚀刻工艺中对蚀刻后晶圆表面的均匀性、蚀刻残留、下层薄膜的选择性等都有要求。在使用热磷酸对氮化硅进行蚀刻时，晶圆表面会出现不均匀的现象，体现于在蚀刻前后进行相同位置取点的厚度测量时，检测点之间蚀刻前后的厚度差值存在明显差异。为了解决氮化硅蚀刻不均匀的问题，通过在磷酸中添加醇醚类和表面活性剂可以实现氮化硅层的均匀蚀刻。技术实现要素：本发明所要解决的技术问题是提供一种能均匀蚀刻氮化硅层的蚀刻液。本发明涉及一种提高氮化硅蚀刻均匀性的酸性蚀刻液，所述蚀刻液的组成包括：占蚀刻液总重量≥88％的磷酸、％的醇醚类、％的表面活性剂。进一步地，本发明涉及上述蚀刻液。江苏了解BOE蚀刻液主要作用