实施例1~6:按照表1配方将二甲基亚砜、一乙醇胺、四甲基氢氧化铵、硫脲类缓蚀剂、聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂、n-甲基吡咯烷酮和去离子水混合,得到用于叠层晶圆的光刻胶剥离液。表1:注:含量中不满100wt%的部分由去离子水补足余量。以cna披露的光刻胶剥离液作为对照例,与实施例1~6所得用于叠层晶圆的光刻胶剥离液进行比较试验,对面积均为300cm2的叠层晶圆上的光刻胶进行剥离并分别测定剥离周期、金属镀层的腐蚀率和过片量(剥离的面壁数量)。对比情况见表2:表2:剥离周期/s金属腐蚀率/ppm过片量/片实施例1130~15015376实施例2130~15016583实施例3130~15017279实施例4130~15015675实施例5130~15016372实施例6130~15017681对照例180~20022664由表2可知,本用于叠层晶圆的光刻胶剥离液通过加入硫脲类缓蚀剂和聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂,使剥离效率有明显的提升,对金属腐蚀率降低20%以上,而且让过片量提高10%以上。以上所述的*是本发明的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。哪家的剥离液比较好用点?滁州京东方用的蚀刻液剥离液什么价格
本发明采用一种选择性剥离制备微纳结构的新方法,可制备出任意负性光刻胶所能制备的任意图形且加工效率比传统的加工方法提高了上万倍(以直径为105nm的结构为例),特别是为跨尺度结构的加工,为光学领域,电学领域,声学领域,生物领域,mem制造,nems制造,集成电路等领域提供了一种新的解决方案。本发明的技术方案如下:一种选择性剥离光刻胶制备微纳结构的方法,包括以下步骤:步骤一、提供衬底,并清洗;步骤二、对衬底进行修饰降低光刻胶与衬底的粘附力;步骤三、衬底上旋涂光刻胶得到薄膜;步骤四、在光刻胶上加工出所需结构的轮廓;所述所需结构包括若干**单元,**单元外周形成有闭合的缝隙;步骤五、在光刻胶上覆盖一层黏贴层;步骤六、自所需结构以外的光刻胶的边沿处揭开黏贴层,黏贴层将所需结构以外的光刻胶粘走,留下所需结构即衬底上留下的微纳结构;黏贴层与光刻胶的粘附力a大于光刻胶与衬底的粘附力b。进一步的改进,在供体衬底表面修饰光刻胶抗粘层为高温气体修饰法或抽真空气体修饰法;高温气体修饰法包括如下步骤:将衬底和光刻胶抗粘剂置于密闭空间中,其中,密闭空间的温度控制在60℃-800℃之间,保温1分钟以上,直接取出衬底。铜陵市面上哪家剥离液销售价格使用剥离液需要什么条件。
1.显影液:显影液是一种溶液,用于在PCB板上显示铜线轨道的比例和位置,使其成为可以用于焊接元件的良好的PCB板。2.剥离液:剥离液是一种特殊的溶剂,用于将PCB板上的铜线轨道剥离开,以便重新焊接元件。3.蚀刻液:蚀刻液是一种酸性溶液,用于将PCB板上的铜线轨道腐蚀掉,以便重新焊接元件。4.清洗液:清洗液是一种混合物,用于将PCB板上的尘埃、污垢和其他残留物消除干净,以便进行焊接和装配。
1.显影液:是指用于显影制版的液体,一般由溶剂、硫酸铜、有机酸和抗氧化剂等组成。2.剥离液:是指用于把制版上的显影膜剥离出来的液体,一般由硝酸铝、硫酸钠等组成。3.蚀刻液:是指用于蚀刻制版的液体,一般由硝酸铜、硝酸钠、硝酸锌等组成。4.清洗液:是指用于清洗制版的液体,一般由水、硝酸、硫酸、乙醇等组成。
添加剂中含有醇醚化合物、胺化合物、缓蚀剂以及润湿剂;s3:将步骤s1的剥离液废液与添加剂混合,重新制备剥离液新液,制备过程中加入酰胺化合物或醇醚化合物。光刻胶剥离液为纯有机溶剂体系,废液可通过蒸馏回收80-95%有效物,得出纯化液体,而在上述制备方式中,纯化液体所含的组分与添加剂所含的组分之间是具有相重复的,可以认为,添加剂是根据已知的剥离液新液的组分进行配制的,添加剂可以是对纯化液体与剥离液新液之间的组分的差别而进行的添加、补充,使得纯化液体和添加剂混合后,能够具有与剥离液新液相同的组分。那么,可以知道,在预先知道剥离液新液的组分的基础上,可以通过预先配制含有剥离液新液中的某些组分的添加剂,然后在制备回收的剥离液废液得出纯化液体时,可以将添加剂加入纯化液体中,再进行质量分数的调节。纯化液体是将剥离液废液进行加压、蒸馏,去除剥离液废液中的非剥离液新液的组分的物质,然后得出的纯化液体,纯化液体中所含的组分物质,都是剥离液新液所含有的组分物质。进一步技术方案中,所述的步骤1中得出的纯化液体中含有的酰胺化合物的质量分为:45%-60%;含有的醇醚化合物的质量分为:35%-50%。如何挑选一款适合自己公司的剥离液?
本发明涉及能够从施加有抗蚀剂的基材剥离抗蚀剂的抗蚀剂的剥离液。背景技术::印刷布线板的制造、主要是半加成法中使用的干膜抗蚀剂等抗蚀剂的剥离液中,伴随微细布线化而使用胺系的剥离液。然而,以往的胺系的抗蚀剂的剥离液有废液处理性难、海外的法规制度的问题,而避免其使用。近年来,为了避免胺系的抗蚀剂的剥离液的问题点,还报道了一种含有氢氧化钠和溶纤剂的剥离液(专利文献1),由于剥离时的抗蚀剂没有微细地粉碎,因此存在近年的微细的布线间的抗蚀剂难以除去的问题点。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2002-323776号公报技术实现要素:发明要解决的问题因此,本发明的课题在于,提供容易除去微细的布线间的抗蚀剂的技术。用于解决问题的手段本发明人等为了解决上述课题而深入研究的结果发现,含有钾盐和溶纤剂的溶液与专利文献1那样的含有氢氧化钠和溶纤剂的溶液相比,即使是非常微细的布线间的抗蚀剂也能细小地粉碎,从而完成本发明。即,本发明涉及一种抗蚀剂的剥离液,其特征在于,含有钾盐和溶纤剂。另外,本发明涉及一种抗蚀剂的除去方法,其特征在于,用上述抗蚀剂的剥离液处理施加有抗蚀剂的基材。此外,本发明涉及一种抗蚀剂的剥离液套件。如何正确使用剥离液。哪家剥离液销售公司
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在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本申请实施例提供的剥离液机台的***种结构示意图。图2为本申请实施例提供的剥离液机台的第二种结构示意图。图3为本申请实施例提供的剥离液机台的第三种结构示意图。图4为本申请实施例提供的剥离液机台的第四种结构示意图。图5为本申请实施例提供的剥离液机台的工作方法的流程示意图。具体实施方式目前剥离液机台在工作时,如果过滤剥离光阻时产生的薄膜碎屑的过滤器被阻塞,则需要剥离液机台内的所有工作单元,待被阻塞的过滤器被清理后,才能重新进行剥离制程,使得机台需频繁停线以更换过滤器,极大的降低了生产效率。请参阅图1,图1为本申请实施例提供的过滤液机台100的***种结构示意图。本申请实施例提供一种剥离液机台100,包括:依次顺序排列的多级腔室10、每一级所述腔室10对应连接一存储箱20;过滤器30,所述过滤器30的一端设置通过***管道40与当前级腔室101对应的存储箱20连接,所述过滤器30的另一端通过第二管道50与下一级腔室102连接;其中,至少在***管道40或所述第二管道50上设置有阀门开关60。具体的,图1所示出的是阀门开关60设置在***管道40上的示例图。滁州京东方用的蚀刻液剥离液什么价格
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