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晶圆甩干机主要由哪些部分构成?

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无锡凡华半导体科技有限公司2025-02-06

主要由旋转系统、驱动电机、控制系统、腔室、喷淋系统、氮气供应系统以及保护外壳等部分组成。

无锡凡华半导体科技有限公司
无锡凡华半导体科技有限公司
简介:无锡凡华半导体科技有限公司主营甩干机、涂胶显影机、激光打标机,IPA干燥机,晶舟转换器,花篮清洗机等
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