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晶圆甩干机控制系统出现故障该如何排查?

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无锡凡华半导体科技有限公司2025-04-05

检查电源是否正常、传感器是否工作、软件是否有错误提示、参数设置是否正确等。

无锡凡华半导体科技有限公司
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简介:无锡凡华半导体科技有限公司主营甩干机、涂胶显影机、激光打标机,IPA干燥机,晶舟转换器,花篮清洗机等
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