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RU2系列光栅系统信号处理系统如何降低细分误差?

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苏州贝格纳工业设备有限公司2025-05-13

RU2配备24位真差分ADC芯片,采样速率达5MSPS,配合数字锁相环技术将信号抖动控制在5ps以内。采用三阶噪声整形算法,将量化噪声降低至-120dB水平。动态补偿??槭凳狈治鏊俣?加速度参数,通过前馈补偿消除0.05μm级的动态滞后误差。独特的谐波抑制技术可消除3/5次谐波干扰,使信号失真度<0.8%。实验数据显示,在1kHz振动环境下,细分误差峰峰值小于±15nm,比传统设计提升4倍精度。双路冗余处理架构确保单通道故障时仍可维持基本测量功能。苏州贝格纳工业设备有限公司的精密信号处理技术,重新定义测量精度标准。

苏州贝格纳工业设备有限公司
苏州贝格纳工业设备有限公司
简介:苏州贝格纳工业设备有限公司专注高精度测量,提供半导体、3C电子、汽车等行业的精密组件。
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