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GBC球阀在半导体特气系统中为什么需要采用隔膜密封结构？

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上海大载机电有限公司2025-07-10

隔膜密封设计优势：1）实现零泄漏（＜1×10??mbar·l/s）；2）消除阀杆处的颗粒产生；3）避免润滑油污染高纯气体；4）维护时无需排空系统。此类阀门需满足SEMI F72标准，表面粗糙度Ra＜0.25μm，且经过三次以上氩气等离子清洗。

本回答由 上海大载机电有限公司 提供

上海大载机电有限公司
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简介：2012 年成立的上海大载机电，丹佛斯代理企业。品质保真，专业服务，从销售到销服一体，未来持续创新。
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上海大载机电有限公司

联系人： 姚英利

手   机： 18221569131

网   址： https://www.refcn.com/

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上海市市辖区青浦区练塘镇朱枫公路3424号1幢2层P区16室
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