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任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。本发明涉及靶材领域，具体涉及一种长寿命靶材组件。背景技术：目前，现有的半导体溅射用ilc1013系列靶材的溅射寿命已经到了一个极限，为提高靶材的使用寿命，节省多次更换靶材的重复性。现有的技术都是通过磁场强度，把靶材表面设计成曲面来延长寿命，公开了一种靶材，包括靶材本体及基体，所述基体的至少一面设有所述靶材本体，所述靶材本体是由高纯度靶材合金粉末通过等离子弧喷涂机喷涂熔焊在所述基体上。所述基体与所述靶材本体的结合面为呈内凹的圆弧面。所述基体为矩形体或圆形。所述靶材的制造...

真空离子镀的耐腐蚀性： 金属零件是要锈蚀的，但如果零件上镀有一层防蚀镀层，就能防止零件生锈。由于离子镀所获得的镀层致密度高，少，耐腐蚀性能好，并能沉积许多其他工艺至今不能沉积的优良防腐蚀镀层。因此，离子镀目前在镀防腐蚀材料方面应用广。如水上飞机的壁板及其他外表零件，可用此法镀复防止盐雾和海水腐蚀的防蚀镀层;与铝合金零件相配合的其他材料零件也可用此法镀铝，以防止电位差腐蚀。此外，随着飞机飞行速度和高度的提高以及宇宙探索的进展，钛合金的应用越来越多，如果仍象铝合金零件那样采用镀镉防腐蚀，使用中就有镉脆的危险;但如若镀以三氧化二铝，则能完全满足要求。不过电镀等工艺是无法镀这种材料的。离子镀却能...

磁控靶材面积与承载功率范围 1、靶材面积与承载功率范围 (1) 圆形平面磁控靶功率密度范围一般为1~25瓦/cm2。 (2)矩形平面磁控靶功率密度范围一般为1~36瓦/cm2。 (3)柱状磁控靶、锥形平面磁控靶功率密度范围一般为40~50瓦/cm2。 2、磁控靶实际承载功率 磁控靶的实际的承载功率除了与溅射工艺、薄膜的质量要求等因数有关外，主要与靶的冷却状况和散热条件密切相关。磁控靶按其冷却散热方式的不同，分为“靶材直接水冷却”和“靶材间接水冷却”两种。 考虑到溅射靶长期使用老化后，其散热条件变差;兼顾各种不同靶材材质的散热系数的不同，磁控靶的使用时的承载功率，直接水冷...

真空离子镀耐高温性能： 航空零件，特别是许多发动机零件往往需要在高温下工作。例如涡轮叶片及导向叶片工作温度通常在摄氏一千度左右，有的甚至达摄氏一千四百度。神话小说《西游记》里孙悟空被太上老君放在炉内烧炼时，恐怕也达不到这么高的温度吧。现代航空发动机零件在这样高的温度下工作，依赖零件基体材料本身的性能是很难满足要求的。那么，发动机零件怎样才能不怕高温烧蚀呢?目前除在零件结构上采取措施(如采用空心冷却叶片、发散冷却叶片等)以外，大都需用耐热镀层进行保护。离子镀对于沉积耐热膜有相当多的优点，能镀各种高熔点材料，如氧化铝、氧化硅、氧化铍、铪合金等。合金镀层的成份也比较容易控制，适合于镀成分较复杂的...

所述靶材600具有十二条侧棱601，各条侧棱601均经过圆角处理。在圆角处理前，所述靶材600的侧棱601位置较为锐利。如果使用侧棱未经圆角处理的靶材600进行溅射镀膜，在溅射镀膜工艺过程中，所述靶材600的侧棱601位置容易发生前列放电的现象，导致镀膜的均匀性差，影响镀膜质量。圆角处理使得靶材侧棱601钝化，有助于防止前列放电现象的发生。利用所述靶材抛光装置100对所述靶材600进行抛光时，将所述靶材抛光装置100放置于所述靶材600上，使所述抛光片第二部分320表面与所述靶材600的侧棱601表面相贴合，并使所述抛光片部分310表面与所述靶材溅射面610相贴合，且所述抛光片第三部分33...

钯，是银白色过渡金属，较软，有良好的延展性和可塑性，能锻造、压延和拉丝。块状金属钯能吸收大量氢气，使体积***胀大，变脆乃至破裂成碎片。 原 子 量：106.4 密 度（20℃）/g?cm-3：12.02 熔 点/℃：1552 蒸发温度/℃：1460 沸 点/℃：3140 汽化温度/℃：1317 比 热 容（25℃）J?（g?K）-1：0.2443 电 阻 率（0℃）/uΩ?cm：10.6 熔 化 热/kJ?mol-1：16.7 汽 化 热/ kJ?mol-1：361.7 热 导 率（0～100℃）/J?（cm?s?℃）-1：0.753 电阻温度系数（0～100℃）/℃-1：0.00...

气体压强对靶溅射电压的影响 在磁控溅射或反应磁控溅射镀膜的工艺过程中，工作气体或反应气体压强对磁控靶溅射电压能够造成一定的影响。 1.工作气体压强对靶溅射电压的影响 一般的规律是：在真空设备环境条件确定和靶电源的控制面板设置参数不变时，随着工作气体(如氩气)压强(0.1~10Pa)的逐步增加，气体放电等离子体的密度也会同步增加，致使等离子体等效阻抗减小，磁控靶的溅射电流会逐步上升，溅射工作电压亦会同步下降。 2. 反应气体压强对靶溅射电压的影响 在反应磁控溅射镀膜的工艺过程中，在真空设备环境条件确定和靶电源的控制面板设置参数不变时，随着反应气体(如氮气、氧气)压强(或流量)...

玫瑰金靶材有哪些？ PVD玫瑰金是靠溅射玫瑰金靶形成的，不同的玫瑰金靶配方颜色上有一些区别，大概分为以下几种： 1、皇冠金（crown gold），黄金含量在22K(91.667％)，由英国亨利八世(1526年)将此比例的黄金用于金币的铸造 2、常见的也是典型的18K玫瑰金，黄金含量也在18K(75％)，但其它另含有约4％的银和21％的铜，呈现美丽的淡粉玫瑰色 3、14K红金，黄金含量在14K(58.33％)，其它添加金属为铜(41.67％)。 有的PVD镀膜厂玫瑰金靶也有添加一些其它的稀有元素，用来达到不同的色调或用来改变镀层的性能，这也是市面上每一家PVD厂镀出的色调都有一些差异的原因...

钎焊：一般使用软钎料的情况下，要求溅射功率小于20W/cm2，钎料常用In、Sn、In-Sn；导电胶：采用的导电胶要耐高温，厚度在0.02-0.05um。二.绑定的适用范围：建议绑定的靶材：ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及烧结靶材；锡、铟等软金属靶；靶材太薄、靶材太贵的情况等。但下列情况绑定有弊端：1.熔点低的靶材，像铟、硒等，金属化的时候可能会变软变形；2.贵金属靶材，一是实际重量易出现分歧，二是金属化以及解绑的时候都会有浪费料，建议垫一片铜片。三.背靶的选择对材质的要求：一般选用无氧铜和钼靶，厚度在3mm左右；导电性好：常用无氧铜，无氧铜的导热性比紫铜好；强度足够：太薄，易变形，不易真空密...

本实施例提供一种长寿命靶材组件，所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.95mm；所述靶材表面的硬度为23hv；其中，所述靶材的比较大厚度为27mm；所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板；所述靶材呈凹形结构；所述靶材包括用于溅射的溅射面；所述溅射面包括平面、第二平面和斜面；所述斜面与水平面的夹角为3°；所述斜面位于所述平面和第二平面之间；所述平面为圆形；所述第二平面为环形；所述靶材的材质包括钽；所述背板的材质包括铝。所得靶材组件溅射强度好，使得溅射过程中薄膜厚度均匀，使用寿命增加。实施例7本实施例提供一种长寿命靶材组件，所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.75mm...

抛光片300包括抛光片部分310、抛光片第二部分320及抛光片第三部分330。所述抛光片部分310设置于所述顶板210的底部。所述抛光片第二部分320设置于所述顶板210与所述侧板220的拐角处，且在所述抛光片部分310及抛光片第三部分330间平滑的过渡。所述抛光片第三部分330设置于所述侧板220的内侧面上，所述抛光片第三部分330表面与抛光片部分310表面垂直。抛光片第二部分320呈弧状，与经圆角处理的靶材侧棱相匹配，可对靶材侧棱进行抛光。所述抛光片第三部分330表面为平整的平面，能够对靶材侧壁表面进行抛光。因此所述靶材抛光装置100能够同时对靶材侧壁表面及经圆角处理的侧棱进行抛光，有...

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种靶材抛光装置。背景技术：溅射镀膜属于物相沉积方法制备薄膜的工艺之一，具体是指利用高能粒子轰击靶材表面，使得靶材原子或分子获得足够的能量逸出，并沉积在基材或工件表面，从而形成薄膜。由于背板具有良好的导电导热性能，且还可以起到固定支撑作用，因此，靶材在镀膜前需与背板焊接在一起，然后共同装配至溅射基台。一般活性金属靶材，例如铝靶材，由于长期暴露在空气中，靶材表面材料容易氧化形成一层氧化皮。在直流脉冲、中频溅射过程中，离子撞击的能量不足以破坏该氧化皮，导致靶材原子或分子难以逸出，因此在将靶材安装至溅射基台之前，需要对靶材表面进行抛光。此外，对于活性金属靶材及非...

3D玻璃渐变色的应用 3D玻璃渐变色主要应用于3C产品，特别是手机领域。随着双玻璃加金属边框的盛行，3D后盖装饰工艺需要不断革新。现有的装饰工艺主要是在装饰防爆膜上进行镀膜丝印，再与3D玻璃贴合实现装饰效果，外观装饰主要还是防爆膜纹理和镀膜颜色搭配实现。渐变色效果可以通过多种途径实现，包括：印刷、转印、真空镀膜、喷涂等。由于技术的瓶颈问题，现在量产的3D玻璃渐变主要有印刷和真空镀膜两种途径。 渐变效果可大致分为同色渐变、邻近色渐变、对比色渐变。渐变颜色的选择对于印刷工艺的限制会小一些，选择范围更加宽。印刷工艺可以选择对应颜色及对应颜色带范围进行印刷，能够实现较为多元化的色彩冲撞效果，满足设...

3D玻璃渐变色的应用 3D玻璃渐变色主要应用于3C产品，特别是手机领域。随着双玻璃加金属边框的盛行，3D后盖装饰工艺需要不断革新。现有的装饰工艺主要是在装饰防爆膜上进行镀膜丝印，再与3D玻璃贴合实现装饰效果，外观装饰主要还是防爆膜纹理和镀膜颜色搭配实现。渐变色效果可以通过多种途径实现，包括：印刷、转印、真空镀膜、喷涂等。由于技术的瓶颈问题，现在量产的3D玻璃渐变主要有印刷和真空镀膜两种途径。 渐变效果可大致分为同色渐变、邻近色渐变、对比色渐变。渐变颜色的选择对于印刷工艺的限制会小一些，选择范围更加宽。印刷工艺可以选择对应颜色及对应颜色带范围进行印刷，能够实现较为多元化的色彩冲撞效果，满足设...

靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.75-6mm，例如可以是5.75mm、5.76mm、5.77mm、5.78mm、5.79mm、5.8mm、5.81mm、5.82mm、5.83mm、5.84mm、5.85mm、5.86mm、5.87mm、5.88mm、5.89mm、5.9mm、5.91mm、5.92mm、5.93mm、5.94mm、5.95mm、5.96mm、5.97mm、5.98mm、5.99mm或6mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。本发明中，所述靶材表面的硬度为20-30hv，例如可以是20hv、21hv、22hv、23hv、24hv、25hv、26...

靶材的比较大厚度为25mm；所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板；所述靶材呈凹形结构；所述靶材包括用于溅射的溅射面；所述溅射面包括平面、第二平面和斜面；所述斜面与水平面的夹角为5°；所述斜面位于所述平面和第二平面之间；所述平面为圆形；所述第二平面为环形；所述靶材的材质包括铝；所述背板的材质包括铝。所得靶材组件溅射强度好，使得溅射过程中薄膜厚度均匀，使用寿命增加。实施例2提供一种长寿命靶材组件，所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为6mm；所述靶材表面的硬度为30hv；其中，所述靶材的比较大厚度为30mm；所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板；所述靶材呈凹形结构；所述靶材包括用于...

磁控溅射离子镀 (1)在基体和工件上是否施加(直流或脉冲)负偏压，利用负偏压对离子的吸引和加速作用，是离子镀与其它镀膜类型的一个主要区别。蒸发镀时基体和工件上加有负偏压就是蒸发离子镀 ;多弧镀时基体和工件上加有负偏压就是多弧离子镀;磁控溅射时基体和工件上加有负偏压就是磁控溅射离子镀，这是磁控溅射离子镀技术的一个重要特点。 (2)磁控溅射离子镀是把磁控溅射和离子镀结合起来的技术。在同一个真空腔体内既可实现氩离子对磁控靶材的稳定溅射，又实现了高能靶材离子在基片负偏压作用下到达基片进行轰击、溅射、注入及沉积作用过程。整个镀膜过程都存在离子对基片和工件表面的轰击，可有效基片和工件表面的气体...

靶材600呈长方体状，其顶部表面为靶材溅射面610，底部表面为靶材焊接面620，所述靶材焊接面620贴合于背板表面上，所述靶材600通过所述靶材焊接面620与背板焊接固定。所述靶材600具有四个侧壁表面630。靶材600具有十二条侧棱601，各条侧棱601均经过圆角处理。在圆角处理前，所述靶材600的侧棱601位置较为锐利。如果使用侧棱未经圆角处理的靶材600进行溅射镀膜，在溅射镀膜工艺过程中，所述靶材600的侧棱601位置容易发生前列放电的现象，导致镀膜的均匀性差，影响镀膜质量。圆角处理使得靶材侧棱601钝化，有助于防止前列放电现象的发生。溅射过程不影响靶材合金、混合材质的比例和性质。山东Z...

什么是电致变色，它有哪些分类： 电致变色是指材料的光学属性（反射率、透过率、吸收率等）在外加电场的作用下发生稳定、可逆的颜色变化的现象，在外观上表现为颜色和透明度的可逆变化。具有电致变色性能的材料称为电致变色材料，用电致变色材料做成的器件称为电致变色器件。 电致变色材料分类： 一、无机电致变色材料 无机电致变色材料的典型是三氧化钨，目前，以WO3为功能材料的电致变色器件已经产业化。 二、有机电致变色材料 有机电致变色材料主要有聚噻吩类及其衍生物、紫罗精类、四硫富瓦烯、金属酞菁类化合物等。以紫罗精类为功能材料的电致变色材料已经得到实际应用。 而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)...

什么是真空镀铝膜，应用在哪些领域？ 真空镀铝薄膜是在薄膜基材的表面附着而形成复合薄膜的一种工艺，我国镀铝膜产能已达到40万吨。主要用于风味食品、日用品、农产品、药品、化妆品的包装。 真空镀铝薄膜是在高真空条件下，以电阻、高频或电子束等加热方式使铝熔化蒸发，在薄膜基材的表面附着而形成复合薄膜的一种工艺。在塑料薄膜或纸张表面镀上一层极薄的金属铝即成为镀铝薄膜或镀铝纸。 用于包装上的真空镀铝薄膜具有铝材用量少、耐折叠性高、阻隔性能高、抗静电等特点，使镀铝薄膜成为一种性能优良、经济美观的新型复合薄膜，在许多方面已取代了铝箔复合材料。主要用于风味食品、日用品、农产品、药品、化妆品等的包装。靶材绑定的定义...

作为本发明 的技术方案，所述靶材的材质包括铝、钽、钛或铜中的一种。作为本发明 的技术方案，所述背板的材质包括铜和/或铝。作为本发明 的技术方案，所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.75-6mm；所述靶材表面的硬度为20-30hv；其中，所述靶材的比较大厚度为20-30mm；所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板；所述靶材呈凹形结构；所述靶材包括用于溅射的溅射面；所述溅射面包括***平面、第二平面和斜面；所述斜面与水平面的夹角≤10°；所述斜面位于所述***平面和第二平面之间；所述***平面为圆形；所述第二平面为环形；所述靶材的材质包括铝、钽、钛或铜中的一种；所述背板的材质包...

靶材的比较大厚度为30mm；所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板；所述靶材呈凹形结构；所述靶材包括用于溅射的溅射面；所述溅射面包括***平面、第二平面和斜面；所述斜面与水平面的夹角为8°；所述斜面位于所述***平面和第二平面之间；所述***平面为圆形；所述第二平面为环形；所述靶材的材质包括钛；所述背板的材质包括铜。所得靶材组件溅射强度好，使得溅射过程中薄膜厚度均匀，使用寿命增加。本实施例提供一种长寿命靶材组件，所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.8mm；所述靶材表面的硬度为22hv；其中，所述靶材的比较大厚度为28mm；所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板；所述靶材呈凹形...

钯，是银白色过渡金属，较软，有良好的延展性和可塑性，能锻造、压延和拉丝。块状金属钯能吸收大量氢气，使体积***胀大，变脆乃至破裂成碎片。 原 子 量：106.4 密 度（20℃）/g?cm-3：12.02 熔 点/℃：1552 蒸发温度/℃：1460 沸 点/℃：3140 汽化温度/℃：1317 比 热 容（25℃）J?（g?K）-1：0.2443 电 阻 率（0℃）/uΩ?cm：10.6 熔 化 热/kJ?mol-1：16.7 汽 化 热/ kJ?mol-1：361.7 热 导 率（0～100℃）/J?（cm?s?℃）-1：0.753 电阻温度系数（0～100℃）/℃-1：0.00...

铝钪合金靶材（AlSc)，尺寸按需求定制，比列按需求定制，含钪比较高能做到AlSc45wt%，质量优异，杂质含量低，欢迎新老客户来电咨询洽谈。江阴典誉新材料科技有限公司生产的金属钪，品质优异，畅销全球。铝钪合金生产历史悠久，拥有丰富的经验，目前推出的铝钪合金靶材已被微电子行业大型厂商采用。相关靶材清单如下：稀土合金靶材：铝钪AlSc;铈钆CeGd;铈镁CeMg;铈钐CeSm;镝钴DyCo;镝铁DyFe;钆铜GdCu;钆铁GdFe;钬铜HoCu;镧铝LaAl;镧镍LaNi;铝钕AlNd;钕铁NdFe;钕铁硼NdFe；镍镁铈NiMgCe;镍镁铁铈NiMgFeCe;铽镝铁TbDyFe;铽铁TbFe;...

PVD颜色膜之玫瑰金 玫瑰金，单从她那浪漫的名字，就能引起人们无数美妙的联想。在闪闪发光的黄金饰品与经典高雅的铂金饰品之后，色调柔和迷人的玫瑰金饰品渐成为时尚人士的“新宠”，以她特有的风格与文化，演绎出贵金属饰品的又一片崭新天地。通常玫瑰金由75％的黄金与其它合金组成（俗称三色金）。 硬度较纯金高，与传统的黄金和铂金相比，粉红色的玫瑰金不但能使有色宝石的色彩更加浓重，还体现了金属材质的精致、细腻。其粉红、玫瑰等暖色调给人们带来温暖与愉快；在款式上也是千姿百态，有心形、榄尖形、椭圆形、梨形、祖母绿形。各种风格迥异的饰品，可谓璀璨耀眼，女性无论是着职业装，还是晚礼服及吊带裙，与之相配都显出高雅...

靶材的比较大厚度为30mm；所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板；所述靶材呈凹形结构；所述靶材包括用于溅射的溅射面；所述溅射面包括***平面、第二平面和斜面；所述斜面与水平面的夹角为8°；所述斜面位于所述***平面和第二平面之间；所述***平面为圆形；所述第二平面为环形；所述靶材的材质包括钛；所述背板的材质包括铜。所得靶材组件溅射强度好，使得溅射过程中薄膜厚度均匀，使用寿命增加。本实施例提供一种长寿命靶材组件，所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.8mm；所述靶材表面的硬度为22hv；其中，所述靶材的比较大厚度为28mm；所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板；所述靶材呈凹形...

钎焊：一般使用软钎料的情况下，要求溅射功率小于20W/cm2，钎料常用In、Sn、In-Sn；导电胶：采用的导电胶要耐高温，厚度在0.02-0.05um。二.绑定的适用范围：建议绑定的靶材：ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及烧结靶材；锡、铟等软金属靶；靶材太薄、靶材太贵的情况等。但下列情况绑定有弊端：1.熔点低的靶材，像铟、硒等，金属化的时候可能会变软变形；2.贵金属靶材，一是实际重量易出现分歧，二是金属化以及解绑的时候都会有浪费料，建议垫一片铜片。三.背靶的选择对材质的要求：一般选用无氧铜和钼靶，厚度在3mm左右；导电性好：常用无氧铜，无氧铜的导热性比紫铜好；强度足够：太薄，易变形，不易真空密...

其他服务:打穿的钯靶材、钯残料可提供回收再加工服务。回收流程如下:称重----清洗、提纯---熔炼加工---靶材等成品江阴典誉新材料科技有限公司，是专业从事镀膜材料、合金制备等相关材料研发、销售、服务为一体的全球化高科技综合性公司。以业内 企业为支撑，整合技术资源，拥有自主进出口经营权和成熟的运营管理团队，科学化管理运营，为公司向化、高新化发展奠定了基础。典誉新材料在光电器件、芯片半导体、太阳能电池、光学镀膜、航空航天、 、冶金、功能材料、新能源等行业产品开发、创新方面，有着得天独厚的优势。以客户需求为导向，以前沿技术为基础，开发了多个产品系列，涵盖溅射靶材、蒸镀膜料、高纯合金、金属粉末、耗材...

真空镀膜机分类真空镀膜机在近二十年内发展迅速，其涉足的行业包括：塑料、五金、建筑、模具、装饰、陶瓷、汽车等行业，而真空镀膜设备根据各大个行业的功能需求，发展为蒸发真空镀膜机、多弧离子真空镀膜机、磁控溅射真空镀膜机。其中蒸发机主要应用于塑料、五金等行业。表面进行蒸发镀铝、鉻、一氧化硅的设备，所镀膜层特点：牢固且细密，是工业化生产的理想设备，其大的优点是它的环保性，真空镀膜设备属于无三废、无污染的清洁生产设备，无须环保部门审批。多弧离子真空镀膜机主要应用于表面涂装PVD膜层，是目前世界上先进涂装PVD膜层设备，真空所自主研发生产的多弧离子真空镀膜设备运用PLC及触摸屏实现自动化逻辑程序控制操作,设...

什么是3D玻璃？ 现在数码产品使用的玻璃盖板分为：2D玻璃，2.5D玻璃，还有3D玻璃。2D玻璃就是普通的纯平面玻璃，没有任何弧形设计；2.5D玻璃则为中间是平面的，但边缘是弧形设计；而3D屏幕，无论是中间还是边缘都采用弧形设计。 3D曲面玻璃的特色符合 3C 产品设计需求。3C 产品设计如智能手机、智能手表、平板计算机、可穿戴式智能产品、仪表板等陆续出现 3D 产品，已经明确引导3D曲面玻璃发展方向。3D曲面玻璃轻薄、透明洁净、抗指纹、防眩光、坚硬、耐刮伤、耐候性佳等优点，可型塑做出3D多形状外观具有产品特殊设计新颖性与质感佳，又可增加弧形边缘触控功能带来出色的触控手感、无线充电机能，并...