某 12 英寸晶圆厂的刻蚀机配备 4 台 2000L/s 分子泵,原采用进口钢制轴承,平均每 6 个月因碳化硅颗粒污染导致轴承失效。新巴顿为其定制的 Si?N?陶瓷轴承,配合迷宫式密封结构,使轴承寿命延长至 24 个月。该方案的重心在于:陶瓷球的硬度(HRC78-80)高于碳化硅颗粒,可减少磨粒磨损;密封唇口采用氟橡胶材质,在 150℃工况下仍保持弹性,阻止微粒侵入。改造后,该产线的非计划停机率从 8% 降至 1%,年节约维护成本 120 万元。此外,公司为某 MOCVD 设备配套的轴承,通过在保持架中嵌入石墨自润滑块,解决了金属有机化合物沉积导致的轴承卡死问题,使设备连续运行时间突破 10000 小时。巴顿分子泵轴承:优化内部结构,提高运转效率。巴顿C1908X205Y23分子泵轴承批发
在面临极端工况的机械领域,新巴顿分子泵轴承展现出优越的环境适应能力。针对高真空(10??Pa 以下)场景,采用全金属密封结构与无油润滑设计,出气率≤1×10?12Pa?m3/s,适用于空间探测设备的真空系统;在超高压环境(如深海探测机械)中,轴承外圈采用厚壁强化设计,耐压强度达 100MPa,配合防泄漏波纹管密封,防止海水侵入。某科研机构的核聚变实验装置中,分子泵轴承在强磁场(10T)与辐射环境下连续运行 1000 小时,性能衰减率<5%,证明其在极端机械工况下的可靠性。通过材料改性与结构创新,新巴顿分子泵轴承持续突破机械应用的边界条件。上海巴顿C1903X205Y18分子泵轴承巴顿分子泵轴承:创新润滑技术,降低摩擦损耗。
分子泵轴承的涂层技术应用进展:新巴顿研发的 TiAlN 涂层(氮化钛铝)轴承,其涂层硬度达 3000HV,较传统 DLC 涂层耐磨性提升 50%,适用于含金属蒸汽的真空环境。涂层厚度控制在 2-3μm,通过磁控溅射技术沉积,与基体结合强度>50N。某铝蒸镀设备使用该涂层轴承后,寿命从 3 个月延长至 1 年,且蒸镀铝层的杂质含量<0.001%,满足光学镀膜的高纯度要求。此外,公司正在开发的石墨烯复合涂层,可将摩擦系数降至 0.008,为超高速轴承提供新解决方案。
新巴顿根据机械工况为分子泵轴承提供精确的润滑脂选型方案。对于低温环境(-40℃以下),选用全氟聚醚脂(PFPE),其倾点≤-60℃,在机械启动时的扭矩阻力≤0.05N?m;高速场景(转速>50000rpm)采用硅油基脂,粘度指数>400,避免高速剪切导致的油脂变稀。在真空泵的实际应用中,通过 DGA(油液气体分析)发现,正确选型可使润滑脂的氧化诱导期延长至 2000 小时以上,较错误选型减少换脂频率 50%。润滑脂的滴点控制在 260℃以上,确保机械在高温工况(如轴承温度 120℃)下不发生油脂流失,维持持续润滑效果。巴顿分子泵轴承:技术支持,解决客户难题。
新巴顿将其他行业的先进技术迁移至分子泵轴承,为机械领域带来创新应用。借鉴航空发动机轴承的涂层技术,在分子泵轴承表面沉积 TiAlN 涂层(硬度 3000HV),耐磨性提升 3 倍,适用于含硬质颗粒的机械工况(如矿山真空除尘设备);引入医疗器械的无菌加工理念,在食品机械的真空轴承中采用电解抛光表面(粗糙度 Ra≤0.2μm),配合 FDA 认证润滑脂,满足食品接触安全要求。这种跨行业技术融合使分子泵轴承突破传统应用边界,在机械行业的多元化场景中实现性能跃升。额定载荷经精确计算,新巴顿分子泵轴承满足机械不同工况的负载需求。杨浦区巴顿YCA1835SSW85分子泵轴承
巴顿分子泵轴承:严格测试流程,确保产品可靠性。巴顿C1908X205Y23分子泵轴承批发
新巴顿为机械行业用户提供定制化分子泵轴承解决方案。根据特殊工况(如高真空 10??Pa、强辐射环境),可设计全陶瓷轴承(Si?N?球 + ZrO?套圈),其出气率≤1×10?12Pa?m3/s,适用于核聚变实验设备。对于超高速场景(转速>100000rpm),采用空气静压轴承设计,通过高压空气(压力 0.4-0.6MPa)形成气膜支撑,摩擦系数低至 0.0005,满足机械行业的极端工况需求。定制化过程中,工程师会通过有限元分析(FEA)优化轴承结构,如在大型分子泵中增加加强筋设计,使轴承座的固有频率避开运转频率 ±20%,避免机械共振。巴顿C1908X205Y23分子泵轴承批发