MEMS传感器是MEMS器件的一个重要分支，作为微机电系统的重要组成部分，MEMS传感器是实现微机电系统感知和信号处理的功能器件。这种传感器采用MEMS制造技术，即微电子制造技术和微机械加工制造技术，其材料、工作原理、制作工艺等方面与传统传感器有相当大的区别。 [4]MEMS传感器是基于其敏感材料的特殊效应工作的，它的制作工艺结合当今先进的IC微电子加工工艺和MEMS微机械加工制造工艺来实现，通过对材料的微机械加工，制造出可感受压力、温度、磁场、加速度等各种参数的稳定的结构器件(如梁、膜、叉指等单一或复合的结构)，从而实现对各种相关参数的感知、测试和转换一些传感器的发展，往往是一些边缘学科开发的先驱。黄浦区如何传感器销售

在生产过程中，位移的测量一般分为测量实物尺寸和机械位移两种。机械位移包括线位移和角位移。按被测变量变换的形式不同，位移传感器可分为模拟式和数字式两种。模拟式又可分为物性型（如自发电式）和结构型两种。常用位移传感器以模拟式结构型居多，包括电位器式位移传感器、 电感式位移传感器、自整角机、电容式位移传感器、电涡流式位移传感器、霍尔式位移传感器等。数字式位移传感器的一个重要优点是便于将信号直接送入计算机系统。这种传感器发展迅速，应用日益***。黄浦区如何传感器销售利用激光的高方向性、高单色性和高亮度等特点可实现无接触远距离测量。

由此可见，传感器技术在发展经济、推动社会进步方面的重要作用，是十分明显的。世界各国都十分重视这一领域的发展。相信不久的将来，传感器技术将会出现一个飞跃，达到与其重要地位相称的新水平。传感器的特点包括：微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化，它不仅促进了传统产业的改造和更新换代，而且还可能建立新型工业，从而成为21世纪新的经济增长点。微型化是建立在微电子机械系统（MEMS）技术基础上的，已成功应用在硅器件上做成硅压力传感器。

图1 传感器的组成敏感元件直接感受被测量，并输出与被测量有确定关系的物理量信号；转换元件将敏感元件输出的物理量信号转换为电信号；变换电路负责对转换元件输出的电信号进行放大调制；转换元件和变换电路一般还需要辅助电源供电。常将传感器的功能与人类5大感觉***相比拟：光敏传感器——视觉声敏传感器——听觉气敏传感器——嗅觉化学传感器——味觉传感器（图1）压敏、温敏、流体传感器——触觉敏感元件的分类：物理类，基于力、热、光、电、磁和声等物理效应。化学类，基于化学反应的原理。生物类，基于酶、抗体、和***等分子识别功能。世界各国都十分重视这一领域的发展。

传感器（英文名称：transducer/sensor）是能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求的检测装置。传感器的存在和发展，让物体有了触觉、味觉和嗅觉等感官，让物体变得活了起来，传感器是人类五官的延长。传感器具有微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化等特点，它是实现自动检测和自动控制的首要环节。新型氮化铝传感器，可以在高达900℃的高温下工作。 [2]其基片可直接作为测量传感元件，扩散电阻在基片内接成电桥形式。普陀区如何传感器品牌

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用作压阻式传感器的基片（或称膜片）材料主要为硅片和锗片，硅片为敏感材料而制成的硅压阻传感器越来越受到人们的重视，尤其是以测量压力和速度的固态压阻式传感器应用**为普遍。热电阻传感器（图6）热电阻测温是基于金属导体的电阻值随温度的增加而增加这一特性来进行温度测量的。热电阻大都由纯金属材料制成，应用**多的是铂和铜，此外，已开始采用镍、锰和铑等材料制造热电阻。热电阻传感器主要是利用电阻值随温度变化而变化这一特性来测量温度及与温度有关的参数。在温度检测精度要求比较高的场合，这种传感器比较适用。较为***的热电阻材料为铂、铜、镍等，它们具有电阻温度系数大、线性好、性能稳定、使用温度范围宽、加工容易等特点。用于测量-200℃～+500℃范围内的温度。黄浦区如何传感器销售

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