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江苏专业BOE蚀刻液销售厂家

来源: 发布时间:2025-06-16

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    这是除去固体颗粒、电子流、水、或者或多或少具有极性的油脂污染的要求。在精细清洗中,经常存在装有凹槽、肋条或盲孔的非常复杂的部件,必须用溶剂对其进行润湿,以使溶剂在这些难洗位置发挥作用。氟化溶剂来自提供表面的可能性的润湿的溶剂类型,其中,所述表面的可能性的润湿以非常低的表面张力表示(例如,相对于,HCFC141b为)。高润湿的另一优点是得到基底的较快干燥。在几乎相同的分子量下,氟化溶剂具有较低的沸点和较高的蒸气压。因此,HCFC141b在32°C下沸腾而氯仿在61°C下沸腾。这两种性质(低沸点和高蒸气压)有利于这些溶剂在利用蒸气相操作的常规工业机器中的应用,使得能够进行部件的漂洗和干燥,而且使得被连续蒸馏的溶剂能够再生。这些机器装有用于通过冷凝而使蒸气在盘管上冷却的大功率(heavy-duty)系统,这些机器的操作方法使得所用高蒸气压的缺点小化。工业家们期望可用于他们的现有机器存货的替代解决方案。此外,氢氟烃地用于制冷和传热过程。本发明提供具有低GWP且具有可生物降解的优点的组合物。根据本发明的组合物含甲基四氢呋喃和至少一种式C4F90R的九氟丁基烷基醚,其中R具有14个碳原子的线型或支化的饱和烷基链。有利地。浙江BOE蚀刻液推荐厂家BOE蚀刻液的比例分为哪些?

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    所述的磷酸浓度为82-87%。进一步地,本发明涉及上述蚀刻液,醇醚类的含量为%。进一步地,本发明涉及上述蚀刻液,表面活性剂的含量为%。进一步地,本发明涉及上述蚀刻液,所述的醇醚类为选自二乙二醇单甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇单甲醚、三甘醇单丁醚等中的至少一种;表面活性剂为选自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸钠、月桂酰氨乙基硫酸钠、醇醚羧酸盐等中的至少一种。进一步地,在使用本发明的蚀刻液进行氮化硅层蚀刻时,蚀刻温度为152-165℃,蚀刻时间为5-60min。通过在磷酸中添加醇醚类和表面活性剂,改善了磷酸的浸润性和表面张力,明显提高了蚀刻液对氮化硅层的润湿和蚀刻均匀性。为了便于验证氮化硅薄膜层的蚀刻均匀性,本发明使用淀积了氮化硅薄膜的晶圆样片(初始厚度约为)。蚀刻液配制完成后,先使用表面张力仪检测该蚀刻液的表面张力;然后将氮化硅晶圆片切割成1cm*3cm的小样片,采用超纯水清洗和氮气吹干后,使用接触角测量仪检测蚀刻液对氮化硅层的接触角大小。在蚀刻前,使用椭圆偏振光谱仪对氮化硅样片取不同位置共6个点进行厚度的测量。BOE蚀刻液适用于什么半导体什么制程;

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