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来源: 发布时间:2025-06-10

    然后将装有蚀刻液的石英烧瓶放入加热套中加热,待加热到确定温度后,放入氮化硅样片进行蚀刻;蚀刻完后,取出样片采用热超纯水清洗和氮气吹干后,使用椭圆偏振光谱仪对蚀刻前所取位置的6个点的厚度进行测量,计算蚀刻前后6个取点的厚度差值,对比6个点之间的厚度差值的差异。与现有的使用磷酸作为蚀刻液相比,本发明的有益效果是:醇醚类和表面活性剂的添加能明显改善磷酸溶液的浸润性和降低磷酸溶液的表面张力,有效提高了蚀刻液对氮化硅层的润湿性和蚀刻均匀性。具体实施方式下面结合具体实施例,进一步阐述本发明,对本发明做进一步详细的说明,但不限于这些实施例。本发明的蚀刻液配制时选择的磷酸浓度为85%,蚀刻温度为160℃,蚀刻时间为10min。先对所配制蚀刻液的表面张力进行检测,然后将氮化硅样片使用超纯水清洗和氮气吹干后,进行接触角的测量;蚀刻前使用超纯水清洗和氮气吹干氮化硅样片后,在氮化硅样片上取6个不同位置的点对其厚度进行测量;蚀刻完成后使用热超纯水清洗和氮气吹干氮化硅样片后,取与蚀刻前相同位置的6个点进行厚度测量。实施例1本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制,先称取浓度为85%的磷酸,然后称取添加剂加入磷酸中。苏州博洋专业生产,BOE蚀刻液生产。福建专业BOE蚀刻液商家

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    本实用新型属于废液处理领域,尤其涉及一种酸性蚀刻液电解后液处理系统。背景技术:酸性蚀刻液是用于印制电路板线路制作和多层板内层制作的蚀刻液,随着电路板行业的迅速发展,产生的废液量越来越大,发掘的污染物种类也越来越多,对环境造成巨大的危害,此类问题也成为社会的重要课题。为了减少甚至杜绝此类污染的发生,我们需要对酸性蚀刻液进行回收循环利用。目前对于酸性蚀刻废液的再生利用大多采用化学或电化学的方法,但传统的方法废液中总铜的含量不断增大,比重增加,必须排掉一部分废液或者补加子液和水来控制参数,这样污染大,影响环境,而且还会造成铜和酸的浪费。技术实现要素:本实用新型所要解决的技术问题为如何通过简单、低成本的技术实现种酸性蚀刻液电解后废液的再生利用。为解决上述技术问题,本实用新型是这样实现的,一种酸性蚀刻液电解后液处理系统,包括:电解槽,具有一出液口和出气口,且内置有酸性蚀刻液,用于对所述酸性蚀刻液进行电解提铜,产生氯气,得到电解后液;再生液调配缸,具有进液口和循环出液口,所述进液口通过管道与所述电解槽的出液口连接以接收电解后液;射流器,其进气口通过导气管与所述电解槽的出气口连接以接收所述氯气。

    该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,添加量分别为总质量的%、%。实施例2本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制,先称取浓度为85%的磷酸,然后称取添加剂加入磷酸中,该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为三乙二醇乙醚、月桂酰氨乙基硫酸钠,添加量分别为总质量的%、%。实施例3本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制,先称取浓度为85%的磷酸,然后称取添加剂加入磷酸中,该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为三甘醇单丁醚、月桂酰氨乙基硫酸钠,添加量分别为总质量的%、%。实施例4本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制,先称取浓度为85%的磷酸,然后称取添加剂加入磷酸中,该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为二乙二醇单甲醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,添加量分别为总质量的%、%。实施例5本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制,先称取浓度为85%的磷酸,然后称取添加剂加入磷酸中,该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。苏州口碑好的BOE蚀刻液公司。

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    形成气液混合体,从扩散管22排出又进入到再生液调配缸3。电解再生某线路板生产线蚀刻废液,蚀刻废液量1000m3/d,相比没有使用本实用新型所提供的酸性蚀刻液电解后液处理系统,能耗节约40%,节约使用药品100kg/d,经济效益提高30%。作为本实施例的一个示例,电解槽1的阳极可选用石墨电极,阴极可选用钛或钛合金板状电极,电解槽1中阴极与阳极之间的距离为55mm,电解槽1的电流密度为300a/m2。与实施例相结合,图2示出了本实用新型第二实施例提供的酸性蚀刻液电解后液处理系统的结构,在实施例的基础上,第二实施例进一步包括曝气装置5,曝气装置5通过管道深入到再生液调配缸3的液体中,用于向再生液调配缸3中的电解后液输送气体以进行搅拌,以提高整个系统的工作效率。进一步地,与上述、第二实施例相结合,酸性蚀刻液电解后液处理系统还可以包括一后续处理系统,用于向经过再生液调配缸3处理过的电解后液中加入氯化钠、盐酸并搅拌均匀,然后再打入到子液桶,实现再生液循环利用。以上所述为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。请认准苏州博洋化学股份有限公司。江苏电子级BOE蚀刻液销售价格

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    可通过蒸发或蒸馏或者通过对比给定温度下的泡点或的蒸气压来实施共沸型化合物的确定。在工业应用的情况下使用共沸物是特别有利的,以使组合物再生,例如当其饱和有污染物的时候。简单蒸馏可回收初的共沸组合物,而没有各组分的任何分馏。而且,2-甲基四氢呋喃(2-MeTHF)具有得自可再生原料(例如得自纤维素材料的糠醛)的优点。因此,半纤维素多糖是含有5个碳原子的基于糖的聚合物。当在硫酸的存在下加热半纤维素时,得到戊糖(含有5个碳原子的糖),例如木糖。当进行木糖的热脱水时,该木糖转化为糠醛。除了低的GWP和它们的可生物降解性之外,根据本发明的一些组合物是不可燃的(根据ASTMD3828标准,闭杯闪点高于55°C)并且特别适合作为清洗溶剂或作为用于加热和冷却应用的制冷剂。它们也可用作发泡剂。实验部分实施例1通过使用沸点测定技术测量液体混合物的沸点。首先,将适量的九氟丁基甲基醚装料到沸点测定仪中,然后,使其沸腾。在达到平衡状态之后,记录在大气压下的沸点。然后,将甲基四氢呋喃的等分试样引入到所述沸点测定仪中并且在已达到平衡状态之后再次记录温度。表I给出九氟丁基甲基醚和甲基四氢呋喃的各种混合物在。福建专业BOE蚀刻液商家

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