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    名称：含有全氟丁基醚的组合物的制作方法含有全氟丁基醚的组合物本发明涉及共沸或共沸型的全氟丁基醚混合物或组合物。更具体地说，本发明的一个主题是包含至少一种九氟丁基烷基醚和可生物降解化合物的组合物。地球大气阻挡了来自于地球的IR发射，这是导致温室效应和有利于生命的适度温度的原因。在大气中，主要是二氧化碳0)2导致这种自然界的温室效应。人类排放的某些气体(包括来自化石燃料的co2)增强了该效应，导致全球变暖及其对于气候的影响暴风雨、洪水、浮冰表面积的变化和冰)I丨消退。京都议定书(1997)的目标是相对于1990年(基准年)，在20082012年的承诺期间内，使6种温室气体(C02、CH4、N20、HFC、PFC、SF6)的全球排放减少5%。给定产物的温室效应通过其GWP(全球变暖潜势)量化，所述GWP不仅考虑了分子对辐射吸收的固有作用而且还考虑了分子在大气中的寿命(或者等同于相同的特征，如在给定时期(通常为1个世纪)内的该分子的浓度)。所述GWP相对于作为参比气体的C02全A屮圣口田O氟化溶剂长期用于高技术工业(例如电子、航空、精密机械或医药部门)。在这些领域中，目标总是相同的，即获得非常高清洁度的表面。BOE蚀刻液适用于什么半导体什么制程；

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    所述组合物包含540重量％的甲基四氢呋喃和6095重量％的式C4F90R的九氟丁基烷基醚。的甲基四氢呋喃是2-甲基四氢呋喃。在式C4F90R的九氟丁基烷基醚中，九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚。不论R是什么，的九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟异丁基烷基醚组成。共沸或共沸型的组合物是特别有利的。当R为甲基时，该共沸或共沸型的组合物包含515重量％的甲基四氢呋喃和8595重量％的九氟丁基甲基醚。包含8重量％的甲基四氢呋喃和92重量％的九氟丁基甲基醚的共沸组合物在大气压下具有°C的沸点。当R为乙基时，该共沸或共沸型的组合物包含1040重量％的甲基四氢呋喃和6090重量％的九氟丁基乙基醚。包含％的甲基四氢呋喃和％的九氟丁基乙基醚的共沸组合物在大气压()下具有°C的沸点。共沸组合物是两种或更多种化合物的液体混合物，其具有可高于或低于各化合物的沸点的恒定沸点(即，在沸腾或蒸发期间没有分馏的倾向)。因此，在蒸发期间形成的蒸气的组成与初始的液体组合物相同或者几乎相同。共沸型组合物是两种或更多种化合物的液体混合物，其具有基本上恒定的沸点，也就是说，共沸型组合物起到单一化合物的作用。电子级BOE蚀刻液销售厂家