碳氢真空清洗机在半导体晶圆清洗中的特殊要求呢？

唯恒塬环保科技（苏州）有限公司2025-06-29

必须使用超高纯度碳氢溶剂，避免引入杂质污染晶圆。清洗过程在超净无尘环境中进行，设备具备严格的洁净度控制和监测系统。采用温和的清洗工艺，防止损伤晶圆表面的纳米级结构，清洗后需进行严格的颗粒和离子检测。

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简介：唯恒塬环保主要生产：碳氢/改性醇真空清洗机、真空蒸馏回收机、真空干燥、废水蒸发器系统、废气处理系统等

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