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晶圆缺陷检测设备的原理是什么?

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岱美仪器技术服务2025-04-05

晶圆缺陷检测设备是一种用于检测集成电路、平板显示器等半导体制造行业中晶圆表面缺陷的设备。其主要原理是利用光学成像技术对晶圆表面进行快速扫描,并通过图像处理算法来判断晶圆表面缺陷的类型和位置。具体而言,晶圆缺陷检测设备通常采用强度调制/投射脉冲(DTI)技术或相位调制/投射脉冲(ATI)技术。这些技术主要是利用光学干涉原理来检测晶圆表面的缺陷,其测量精度可以达到几个纳米甚至更高。我们岱美以过硬的产品质量、完善的售后服务、认真严格的企业管理,赢得了广大客户的认可,欢迎广大客户前来咨询!

岱美仪器技术服务
岱美仪器技术服务
简介:岱美仪器,专注于半导体行业40多年,可提供欧美先进设备,拥有雄厚的技术积累,以及专业的技术服务团队。
简介: 岱美仪器,专注于半导体行业40多年,可提供欧美先进设备,拥有雄厚的技术积累,以及专业的技术服务团队。
晶圆缺陷检测设备
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