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江苏迈茨工业智能装备有限公司2025-05-22
微动控制关键技术：
传动优化：预紧式滚珠丝杠（轴向间隙≤0.003mm）+直线电机（分辨率0.1μm）。
控制算法：PID+前馈补偿，结合干扰观测器（DOB）抑制非线性误差。
环境控制：恒温实验室（±1℃）减少热变形影响。
实测数据：在光学元件对准中实现±0.5μm重复定位精度。
本回答由 江苏迈茨工业智能装备有限公司 提供
江苏迈茨工业智能装备有限公司
联系人： 刘易
手 机： 18012841750
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