赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司2025-03-08

卧式炉装卸料操作通常采用水平方向的进出料方式。装料时，通过专门的装卸料机构，将半导体晶圆或其他待加工材料放置在水平载具上，再平稳推送至炉腔内部。卸料时操作相反，载具从炉腔中水平拉出。整个过程需在超洁净环境下进行，防止灰尘等杂质污染晶圆，影响半导体制造工艺质量。装卸料操作的速度与精细度对生产效率和产品质量影响明显，需要严格把控，以确保每次装卸料都能精确无误，避免对晶圆造成损伤。?

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