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单晶炉的气氛控制系统有什么作用?

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无锡保利新能源设备制造有限公司2024-11-26

单晶炉的气氛控制系统用于调节炉内气体的种类、流量和压力,以创造适合晶体生长的气体环境。不同的半导体材料对气体环境的要求不同,例如硅单晶生长时通常需要惰性气体(如氩气)作为保护气,以防止熔融材料氧化。气氛控制系统还能通过调节气体成分和流量,影响晶体生长速率和晶体质量。

无锡保利新能源设备制造有限公司
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简介:无锡保利新能源设备制造有限公司专注于制造新能源设备和半导体设备,以科技创新和客户利益为价值观。
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