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RTP快速退火炉有什么特点？

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司2025-04-05

①红外卤素灯管加热，冷却采用风冷；②灯管功率PID控温，可准确控制温度升温，保证良好的重现性与温度均匀性；③标配三组工艺气体

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司
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简介：晟鼎精密主营产品RTP快速退火炉、等离子清洗机、等离子去胶机、接触角测量等表面性能处理及检测设备。
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退火炉＋等离子
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    东莞市晟鼎精密仪器有限公司 2025-04-05

    ①采用平行进气方式，气体的进入口设置在WAFER表面，避免退火过程中冷点产生，保证产品良好的温度均匀性；②大气与真空处理方式均可选择，进气前气体净化处理；③可测样品尺寸为6-12英寸

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企业信息

东莞市晟鼎精密仪器有限公司

联系人： 姜小姐

手   机： 18028282170

网   址： https://www.sindinplasma.com/

地   址：
广东省东莞市市辖区长安镇新安社区横中路33号
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