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中科仪深耕近 70 年，实现国内干式真空泵多项零的突破
来源：
发布时间：2025-07-02
在半导体制造这一 “纳米级微观手术” 中，干式真空泵作用关键，它能快速、洁净地将芯片加工腔室中的空气和气体抽离，为芯片制造的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、光刻等超微加工工艺提供必要的洁净真空环境。新三板挂牌企业中科仪，依托高真空、超高真空和超洁净真空技术优势，致力于研制先进的干式真空泵及真空仪器设备，产品达到国际同类先进水平，**。中科仪创建于 1958 年，前身为中国科学院直属事业单位，是国内**的半导体制造设备**部件及真空科学仪器设备供应商，组建了多个**科研中心，是******。目前，中科仪干式真空泵已在多家**集成电路和光伏企业通过工艺验证并批量使用，打破了欧美及日韩企业的长期垄断，实现了集成电路产业**部件国产化的多项零突破，有力推动了我国半导体等相关产业的自主发展。
中的空气和气体抽离，为芯片制造的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、光刻等超微加工工艺提供必要的洁净真空环境。新三板挂牌企业中科仪，依托高真空、超高真空和超洁净真空技术优势，致力于研制先进的干式真空泵及真空仪器设备，产品达到国际同类先进水平，**。中科仪创建于 1958 年，前身为中国科学院直属事业单位，是国内**的半导体制造设备**部件及真空科学仪器设备供应商，组建了多个**科研中心，是******。目前，中科仪干式真空泵已在多家**集成电路和光伏企业通过工艺验证并批量使用，打破了欧美及日韩企业的长期垄断，实现了集成电路产业**部件国产化的多项零突破，有力推动了我国半导体等相关产业的自主发展。
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