济南激光光刻胶供应商
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发布时间：2025-07-08
吉田半导体的光刻胶产品覆盖芯片制造、显示面板、PCB 及微纳加工等领域，通过差异化技术（如纳米压印、厚膜工艺）和环保特性（水性配方），满足从传统电子到新兴领域（如第三代半导体、Mini LED）的多样化需求。其产品不仅支持高精度、高可靠性的制造工艺，还通过材料创新推动行业向绿色化、低成本化方向发展。吉田半导体光刻胶的优势在于技术全面性、环保创新、质量稳定性及本土化服务，尤其在纳米压印、厚膜工艺及水性胶领域形成差异化竞争力。
吉田产业链协同与政策红利。济南激光光刻胶供应商
吉田半导体厚板光刻胶 JT-3001：国产技术助力 PCB 行业升级
南京紫外光刻胶价格负性光刻胶曝光后形成不溶结构，适用于平板显示等对厚度要求较高的场景。
? 化学反应：
? 正性胶：曝光后光敏剂（如重氮醌DQN）分解，生成羧酸，在碱性显影液中溶解；
? 负性胶：曝光后光敏剂引发交联剂与树脂形成不溶性网状结构。
5. 显影（Development）
? 显影液：
? 正性胶：碱性水溶液（如0.26N四甲基氢氧化铵TMAH），溶解曝光区域；
? 负性胶：有机溶剂（如二甲苯、醋酸丁酯），溶解未曝光区域。
? 方法：喷淋显影（PCB）或沉浸式显影（半导体），时间30秒-2分钟，需控制显影液浓度和温度。
6. 后烘（Post-Bake）
? 目的：固化胶膜，提升耐蚀刻性和热稳定性。
? 条件：
? 温度：100-150℃（半导体用正性胶可能更高，如180℃）；
? 时间：15-60分钟（厚胶或高耐蚀需求时延长）。
7. 蚀刻/离子注入（后续工艺）
? 蚀刻：以胶膜为掩膜，通过湿法（酸碱溶液）或干法（等离子体）刻蚀基板材料（如硅、金属、玻璃）；
? 离子注入：胶膜保护未曝光区域，使杂质离子只能注入曝光区域（半导体掺杂工艺）。
8. 去胶（Strip）
? 方法：
? 湿法去胶：强氧化剂（如硫酸+双氧水）或有机溶剂（如N-甲基吡咯烷酮NMP）；
? 干法去胶：氧等离子体灰化（半导体领域，无残留）。
定义与特性
正性光刻胶是一种在曝光后，曝光区域会溶解于显影液的光敏材料，形成与掩膜版（Mask）图案一致的图形。与负性光刻胶（未曝光区域溶解）相比，其优势是分辨率高、图案边缘清晰，是半导体制造（尤其是制程）的主流选择。
化学组成与工作原理
主要成分
? 树脂（成膜剂）：
? 传统正性胶：采用**酚醛树脂（Novolak）与重氮萘醌（DNQ，光敏剂）**的复合体系（PAC体系），占比约80%-90%。
? 化学增幅型（用于DUV/EUV）：含环化烯烃树脂或含氟聚合物，搭配光酸发生器（PAG），通过酸催化反应提高感光度和分辨率。
? 溶剂：溶解树脂和感光剂，常用丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）或乳酸乙酯。
? 添加剂：表面活性剂（改善涂布均匀性）、稳定剂（防止暗反应）、碱溶解度调节剂等。
工作原理
? 曝光前：光敏剂（如DNQ）与树脂结合，形成不溶于碱性显影液的复合物。
? 曝光时：
? 传统PAC体系：DNQ在紫外光（G线436nm、I线365nm）照射下发生光分解，生成羧酸，使曝光区域树脂在碱性显影液中溶解性增强。
? 化学增幅型：PAG在DUV/EUV光下产生活性酸，催化树脂发生脱保护反应，大幅提高显影速率（灵敏度提升10倍以上）。
? 显影后：曝光区域溶解去除，未曝光区域保留，形成正性图案。
光刻胶在半导体制造中扮演着关键角色，是图形转移的主要材料。
吉田半导体水性感光胶 JT-1200：水油兼容，钢片加工精度 ±5μm
去除残留光刻胶（去胶）常采用氧等离子体灰化或湿法化学清洗。青海负性光刻胶平板显示用光刻胶需具备高透光率，以保证屏幕色彩显示的准确性。济南激光光刻胶供应商
广东吉田半导体材料有限公司以光刻胶为中心，逐步拓展至半导体全材料领域，形成了 “技术驱动、全产业链覆盖” 的发展格局。公司产品不仅包括芯片与 LCD 光刻胶，还延伸至锡膏、焊片、靶材等配套材料，为客户提供一站式采购服务。
- 产品远销全球 50 多个地区，客户包括电子制造服务商（EMS）及半导体厂商。
- 获评 “广东省专精特新企业”“广东省创新型中小企业”，并通过技术企业认证。
- 生产基地配备自动化设备，年产能超千吨，满足大规模订单需求。
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