随着精密加工技术的高速发展，无论民用、工业、医疗抑或是航天领域，其发展趋势均向微型化、高精度和高质量方向发展。传统的机加工、电火花加工和电子束加工等方法已不能满足高精度微孔加工中所提出的技术要求，如微孔孔径的尺寸及精度、微孔的锥度可控性、大深径比圆柱孔的加工和高硬度高熔点高脆性材料的广泛应用等。激光加工具有高精度、高效率、成本低、材料选择性低等优点，现已成为高精度微孔加工的主流技术之一。一般扫描振镜打出的孔都是正锥度，难以实现不同锥度孔和异型孔的加工。普通长脉冲激光加工热影响区大，且有重铸层，无法满足高精度微孔加工的要求。宁波米控机器人科技有限公司的微孔加工设备配备智能诊断系统，及时发现并解决问题。上海水助激光

假如采用激光打孔的方式打出的小孔质量不只十分好，特别是在打大量同样的小孔时，还能保证多个小孔的尺寸外形统一，钻孔速度快，消费效率高。因而，激光打孔机十分合适微孔筛微孔加工。它能够在筛板上加工：小孔:1.00～3.00mm；次小孔:0.40～1.00mm；超小孔:0.1～0.40mm；微孔:0.01～0.10mm；次微孔:0.001～0.01mm；超微孔:<0.008mm。激光打孔过程：1、激光打孔过程全程监控，整机由高性能激光器，激光聚焦CCD同光路电视监控，精细四轴运开工作台和计算办法控制系统组成。2、自动化激光打孔，自动完成微孔成形。可对孔形编程，不但可打多层直线喇叭孔、直孔，特殊设计软件还可打出轴向内壁圆弧、异性及其他恣意曲线孔形。3、内壁润滑，炙烤区少，打孔速度快，装夹便当。广东激光喷丝孔加工超声微孔加工借超声振动驱动工具，在脆性材料如玻璃上加工微孔，有效降低加工力，提升加工表面质量与精度。

1、电火花微孔加工主要是针对模具打孔操作，电火花加工是属于慢加工，在微机械、机械加工、光学仪器等领域得到关注，微孔加工受力小、加工孔径和深度由调节电参数就可以得到控制等优势，但其弊端无法批量生产，费用较高，2个或者5个左右的孔径可以使用。2、激光加工主要加工，电子部件、多层电路板的焊接、陶瓷基片，宝石基片上的钻孔、划线和切片；半导体加工工种的激光走域加热和退货、激光刻蚀、掺杂和氧化等，对金属微孔加工激光工艺容易产生烧黑的现象，且容易改变材料的材质，残渣不易清理或无法清理的现象。3、线性切割采用线电极连续供丝的方式，慢走丝线切割机在运用领域得到了普及，工件表面粗糙度通常可达到Ra=μm及以上，但线切割工艺材料容易变形，批量切割生产价格昂贵。4、蚀刻光化学蚀刻,指通过曝光,显影后将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,使用两个阳性图形通过从两面的化学研磨达到溶解的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。对形状复杂，精密度要求高二机械加工难以实现的超薄形工件。蚀刻加工能够满足部件平整、无毛刺、图形复杂的要求，加工周期短、成本低。5、微钻直接小于，它主要加工ФФ，深径比超过10。

微孔加工方法：电火花是微孔加工的重要组成部分，电火花微孔加工技术随着微机械、精密机械、光学仪器等领域的不断拓展而得到较广的关注。电火花微孔加工以其加工中受力小、加工的孔径和深度由调节电参数就可得到控制等优势，使其在各国的研究日益活跃。但是电火花加工是一个典型的慢加工，在加工微孔时表现得尤为明显，时间随着加工精度的提高而减慢。对于少量的孔如：2个或5个左右，可以使用，主要是针对模具打孔等操作，无法批量生产，费用高。宁波米控机器人科技有限公司的微孔加工技术在高硬度材料加工领域表现优异。

激光微加工生产效率高，成本低，加工质量稳定可靠，具有良好的经济效益和社会效益。飞秒激光以其独特的脉冲持续时间短、峰值功率高等优越性能正在打破以往传统的激光加工方法，开创了材料超精细、无热损伤和3D空间加工和处理的新领域。飞秒激光加工技术应用包括微电子学、光子晶体器件、高信息传输速度（1Tbit/s）的光纤通讯器件、微机械加工、新型三维光存储器、以及微细医疗器件制作和细胞生物工程技术等方面具有非常广的应用前景。微孔加工在航空航天领域用于制造涡轮叶片冷却孔等部件，其微孔结构有助于提升部件耐高温与抗疲劳性能。广东激光模具雕刻

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激光打孔机可以和自动控制系统及微机配合，实现光、机、电一体化，使得激光打孔过程准确无误地重复成千上万次。结合激光打孔孔径小、深径比大的特点，通过程序控制可以连续、高效地制作出小孔径、数量大、密度高的群孔板，激光加工出的群孔板的密度比机械钻孔和电火花打孔的群孔板高1-3个数量级，例如：汽车配件，食品、制药，汽车喷油嘴，雾化喷嘴，发动机喷油嘴等行业使用的材料厚度为1-3mm，材料为不锈钢，黄铜，铝材料，合金材料孔径可做到0.02-0.10mm的微孔，密度为l0-100孔/cm2。上海水助激光