我司凭借深厚的技术积累,自主研发出高精密控温技术,精度高达 0.1% 的控制输出。温度波动值可实现±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密环境控制。该系统洁净度可实现百级、十级、一级。关键区域 ±5mK(静态)的温度稳定性,以及均匀性小于 16mK/m 的内部温度规格,为诸如芯片研发这类对温度极度敏感的项目,打造了近乎完美的温场环境,保障实验数据不受温度干扰。同时,设备内部湿度稳定性可达±0.5%@8h,压力稳定性可达+/-3Pa,长达 144h 的连续稳定工作更是让长时间实验和制造无后顾之忧。在洁净度方面,实现百级以上洁净度控制,工作区洁净度优于 ISO class3,确保实验结果的准确性与可靠性,也保障了精密仪器的正常工作和使用寿命。针对光学镜片研磨车间,提供稳定温湿度,保证镜片加工精度。吉林温湿度控制柜
在半导体芯片制造这一复杂且精细的领域,从芯片光刻、蚀刻到沉积、封装等每一步,都对环境条件有着近乎严苛的要求,而精密环控柜凭借其性能成为保障生产的关键要素。芯片光刻环节,光刻机对环境稳定性要求极高。哪怕 0.002℃的温度波动,都可能使光刻机内部的精密光学元件因热胀冷缩产生细微形变,导致光路偏差,使光刻图案精度受损。精密环控柜凭借超高精度温度控制,将温度波动控制在极小范围,确保光刻机高精度运行,让芯片光刻图案正常呈现。河北真空镀膜机温湿度高精密环境控制设备由主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统等组成。
精密环控柜主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成,为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环,控制系统对循环气流的每个环节进行处理,从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。该系统可实现洁净度百级、十级、一级,温度波动值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密环境控制。自面世以来,已为相关领域客户提供了稳定的实验室环境以及监测服务,获得了众多好评。
在光学仪器的装配过程中,湿度的控制同样关键。湿度过高容易使光学镜片表面产生水汽凝结,形成水渍,不仅影响镜片的外观,还会降低镜片的光学性能。此外,高湿度环境还可能导致金属部件生锈腐蚀,影响仪器的结构稳定性和使用寿命。精密环控柜通过调节湿度,确保镜片在装配过程中始终处于干燥、洁净的环境中,有效避免了上述问题的发生。这使得生产出的光学仪器,无论是用于科研领域的显微镜、望远镜,还是用于工业检测的投影仪、测量仪等,都能具备光学性能和稳定性,满足不同行业对高精度光学仪器的需求。采用节能技术,在保障高性能的同时降低能耗,为企业节省运营成本。
芯片蚀刻时,刻蚀速率的均匀性对芯片电路完整性至关重要。温度波动如同 “蝴蝶效应”,可能引发刻蚀过度或不足。精密环控柜稳定的温度控制,以及可达 ±0.5%@8h 的湿度稳定性,有效避免因环境因素导致的刻蚀异常,保障芯片蚀刻质量。芯片沉积与封装过程中,精密环控柜的超高水准洁净度控制发挥关键作用。其可实现百级以上洁净度控制,内部洁净度优于 ISO class3,杜绝尘埃颗粒污染芯片,防止水汽对芯片材料的不良影响,确保芯片沉积层均匀、芯片封装可靠。系统详细记录运行信息,无论是日常运行还是突发故障,查询检索都能准确定位所需。高精密温湿度波动度
精密环境控制设备依托自主研发的高精密控温技术,实现了 0.1% 的超高输出精度。吉林温湿度控制柜
超精密激光外径测量仪,在精密制造领域里,是线缆、管材等产品外径测量环节中不可或缺的存在。其测量精度直接关乎产品质量。然而,环境因素对它的干扰不容小觑。一旦温度产生波动,仪器的光学系统便会因热胀冷缩发生热变形,致使原本激光聚焦出现偏差,光斑尺寸也随之改变,如此一来,根本无法精确测量产品外径。像在高精度线缆生产中,哪怕只是极其微小的温度变化,都可能致使产品外径公差超出标准范围。而在高湿度环境下,水汽对激光的散射作用大幅增强,返回的激光信号强度减弱,噪声却不断增大,测量系统难以准确识别产品边界,造成测量数据的重复性和准确性都严重变差 。吉林温湿度控制柜