半导体材料分为直接带隙半导体和间接带隙半导体,而Si是典型的直接带隙半导体,其禁带宽度为1.12eV。所以当电子与空穴复合时,电子会弹射出一个光子,该光子的能量为1.12eV,根据波粒二象性原理,该光子的波长为1100nm,属于红外光区。通俗的讲就是当载流子进行复合的时候就会产生1100nm的红外光。这也就是产生亮点的原因之一:载流子复合。所以正偏二极管的PN结处能看到亮点。如果MOS管产生latch-up现象,(体寄生三极管导通)也会观察到在衬底处产生荧光亮点。微光显微镜的便携款桌面级设计,方便在生产线现场快速检测,及时发现产品问题,减少不合格品流出。科研用微光显微镜范围
当芯片内部存在漏电缺陷,如结漏电、氧化层漏电时,电子-空穴对复合会释放光子,微光显微镜(EMMI)能捕捉并定位。对于载流子复合异常情况,像闩锁效应、热电子效应引发的失效,以及器件在饱和态晶体管、正向偏置二极管等工作状态下的固有发光,它也能有效探测,为这类与光子释放相关的失效提供关键分析依据。
而热红外显微镜则主要用于排查与热量异常相关的芯片问题。金属互联短路、电源与地短接会导致局部过热,其可通过检测红外辐射差异定位。对于高功耗区域因设计缺陷引发的电流集中导致的热分布异常,以及封装或散热结构失效造成的整体温度异常等情况,它能生成温度分布图像,助力找出热量异常根源。 实时成像微光显微镜原理通过与光谱仪联用,可分析光子的光谱信息,为判断缺陷类型提供更多依据,增强分析的全面性。
相较于传统微光显微镜,InGaAs(铟镓砷)微光显微镜在检测先进制程组件微小尺寸组件的缺陷方面具有更高的适用性。其原因在于,较小尺寸的组件通常需要较低的操作电压,这导致热载子激发的光波长增长。InGaAs微光显微镜特别适合于检测先进制程产品中的亮点和热点(HotSpot)定位。InGaAs微光显微镜与传统EMMI在应用上具有相似性,但InGaAs微光显微镜在以下方面展现出优势:
1.侦测到缺陷所需时间为传统EMMI的1/5~1/10;
2.能够侦测到微弱电流及先进制程中的缺陷;
3.能够侦测到较轻微的MetalBridge缺陷;
4.针对芯片背面(Back-Side)的定位分析中,红外光对硅基板具有较高的穿透率。
这一技术不仅有助于快速定位漏电根源(如特定晶体管的栅氧击穿、PN结边缘缺陷等),更能在芯片量产阶段实现潜在漏电问题的早期筛查,为采取针对性修复措施(如优化工艺参数、改进封装设计)提供依据,从而提升芯片的长期可靠性。例如,某批次即将交付的电源管理芯片在出厂前的EMMI抽检中,发现部分芯片的边角区域存在持续稳定的微弱光信号。结合芯片的版图设计与工艺参数分析,确认该区域的NMOS晶体管因栅氧层局部厚度不足导致漏电。技术团队据此对这批次芯片进行筛选,剔除了存在漏电隐患的产品,有效避免了缺陷芯片流入市场后可能引发的设备功耗异常、发热甚至烧毁等风险。电路验证中出现闩锁效应及漏电,微光显微镜可定位位置,为电路设计优化提供依据,保障系统稳定运行。
致晟光电作为苏州本土的光电检测设备研发制造企业,其本地化服务目前以国内市场为主要覆盖区域 。尤其在华东地区,依托总部苏州的地理优势,对上海、江苏、浙江等周边省市实现高效服务。无论是设备的安装调试,还是售后的故障维修、技术咨询,都能在短时间内响应,例如在苏州本地,接到客户需求后,普遍可在数小时内安排技术人员上门服务。在全国范围内,致晟光电已通过建立销售服务网点、与当地经销商合作等方式,保障本地化服务的覆盖。
在航空航天芯片检测中,它可定位因辐射导致的芯片损伤,为航天器电子设备的稳定运行保驾护航。制造微光显微镜新款
微光显微镜的快速预热功能,可缩短设备启动至正常工作的时间,提高检测效率。科研用微光显微镜范围
致晟光电在推动产学研一体化进程中,积极开展校企合作。公司依托南京理工大学光电技术学院,专注开发基于微弱光电信号分析的产品及应用。双方联合攻克技术难题,不断优化实时瞬态锁相红外热分析系统(RTTLIT),使该系统温度灵敏度可达0.0001℃,功率检测限低至1uW,部分功能及参数优于进口设备。此外,致晟光电还与其他高校建立合作关系,搭建起学业-就业贯通式人才孵化平台。为学生提供涵盖研发设计、生产实践、项目管理全链条的育人平台,输送了大量实践能力强的专业人才,为企业持续创新注入活力。通过建立科研成果产业孵化绿色通道,高校的前沿科研成果得以快速转化为实际生产力,实现了高校科研资源与企业市场转化能力的优势互补。科研用微光显微镜范围