在半导体芯片的精密检测领域,微光显微镜与热红外显微镜如同两把功能各异的 “利剑”,各自凭借独特的技术原理与应用优势,在芯片质量管控与失效分析中发挥着不可替代的作用。二者虽同服务于芯片检测,但在逻辑与适用场景上的差异,使其成为互补而非替代的检测组合。从技术原理来看,两者的 “探测语言” 截然不同。
微光显微镜是 “光子的捕捉者”,其重心在于高灵敏度的光子传感器,能够捕捉芯片内部因电性能异常释放的微弱光信号 —— 这些信号可能来自 PN 结漏电时的电子跃迁,或是栅氧击穿瞬间的能量释放,波长多集中在可见光至近红外范围。
我司微光显微镜探测芯片封装打线及内部线路短路产生的光子,快速定位短路位置,优势独特。锁相微光显微镜规格尺寸
考虑到部分客户的特殊应用场景,我们还提供Thermal&EMMI的个性化定制服务。无论是设备的功能模块调整、性能参数优化,还是外观结构适配,我们都能根据您的具体需求进行专属设计与研发。凭借高效的研发团队和成熟的生产体系,定制项目通常在 2-3 个月内即可完成交付,在保证定制灵活性的同时,充分兼顾了交付效率,让您的特殊需求得到及时且满意的答案。致晟光电始终致力于为客户提供更可靠、更贴心的服务,期待与您携手共进,共创佳绩。直销微光显微镜功能支持自定义检测参数,测试人员可根据特殊样品特性调整设置,获得较为准确的检测结果。
例如,当某批芯片在测试中发现漏电失效时,我们的微光显微镜能定位到具体的失效位置,为后续通过聚焦离子束(FIB)切割进行截面分析、追溯至栅氧层缺陷及氧化工艺异常等环节提供关键前提。可以说,我们的设备是半导体行业失效分析中定位失效点的工具,其的探测能力和高效的分析效率,为后续问题的解决奠定了不可或缺的基础。
在芯片研发阶段,它能帮助研发人员快速锁定设计或工艺中的隐患,避免资源的无效投入;在量产过程中,它能及时发现批量性失效的源头,为生产线调整争取宝贵时间,降低损失;在产品应用端,它能为可靠性问题的排查提供方向,助力企业提升产品质量和市场口碑。无论是先进制程的芯片研发,还是成熟工艺的量产检测,我们的设备都以其独特的技术优势,成为失效分析流程中无法替代的关键一环,为半导体企业的高效运转和技术升级提供有力支撑。
在半导体芯片漏电检测中,微光显微镜为工程师快速锁定问题位置提供了关键支撑。当芯片施加工作偏压时,设备即刻启动检测模式 —— 此时漏电区域因焦耳热效应会释放微弱的红外辐射,即便辐射功率为 1 微瓦,高灵敏度探测器也能捕捉到这一极微弱信号。这种检测方式的在于,通过热成像技术将漏电点的红外辐射转化为可视化热图,再与电路版图进行叠加分析,可实现漏电点的微米级精确定位。相较于传统检测手段,微光设备无需拆解芯片即可完成非接触式检测,既避免了对芯片的二次损伤,又能在不干扰正常电路工作的前提下,捕捉到漏电区域的细微热信号。微光显微镜搭配高分辨率镜头,可将微小缺陷放大至清晰可见,让检测更易观察分析,提升检测的准确度。
在故障分析领域,微光显微镜(EmissionMicroscope,EMMI)是一种极具实用价值且效率出众的分析工具。其功能是探测集成电路(IC)内部释放的光子。在IC元件中,电子-空穴对(ElectronHolePairs,EHP)的复合过程会伴随光子(Photon)的释放。具体可举例说明:当P-N结施加偏压时,N区的电子会向P区扩散,同时P区的空穴也会向N区扩散,随后这些扩散的载流子会与对应区域的载流子(即扩散至P区的电子与P区的空穴、扩散至N区的空穴与N区的电子)发生EHP复合,并在此过程中释放光子。升级后的冷却系统,能减少设备自身热噪声,让对微弱光子的探测更灵敏,提升检测下限。低温热微光显微镜订制价格
当二极管处于正向偏置或反向击穿状态时,会有强烈的光子发射,形成明显亮点。锁相微光显微镜规格尺寸
EMMI的本质只是一台光谱范围广,光子灵敏度高的显微镜。
但是为什么EMMI能够应用于IC的失效分析呢?
原因就在于集成电路在通电后会出现三种情况:1.载流子复合;2.热载流子;3.绝缘层漏电。当这三种情况发生时集成电路上就会产生微弱的荧光,这时EMMI就能捕获这些微弱荧光,这就给了EMMI一个应用的机会而在IC的失效分析中,我们给予失效点一个偏压产生荧光,然后EMMI捕获电流中产生的微弱荧光。原理上,不管IC是否存在缺陷,只要满足其机理在EMMI下都能观测到荧光 锁相微光显微镜规格尺寸