例如,当某批芯片在测试中发现漏电失效时,我们的微光显微镜能定位到具体的失效位置,为后续通过聚焦离子束(FIB)切割进行截面分析、追溯至栅氧层缺陷及氧化工艺异常等环节提供关键前提。可以说,我们的设备是半导体行业失效分析中定位失效点的工具,其的探测能力和高效的分析效率,为后续问题的解决奠定了不可或缺的基础。
在芯片研发阶段,它能帮助研发人员快速锁定设计或工艺中的隐患,避免资源的无效投入;在量产过程中,它能及时发现批量性失效的源头,为生产线调整争取宝贵时间,降低损失;在产品应用端,它能为可靠性问题的排查提供方向,助力企业提升产品质量和市场口碑。无论是先进制程的芯片研发,还是成熟工艺的量产检测,我们的设备都以其独特的技术优势,成为失效分析流程中无法替代的关键一环,为半导体企业的高效运转和技术升级提供有力支撑。 红外成像可以不破坏芯片封装,尝试定位未开封芯片失效点并区分其在封装还是 Die 内部,利于评估芯片质量。自销微光显微镜批量定制
可探测到亮点的情况
一、由缺陷导致的亮点结漏电(Junction Leakage)接触毛刺(Contact Spiking)热电子效应(Hot Electrons)闩锁效应(Latch-Up)氧化层漏电(Gate Oxide Defects / Leakage (F-N Current))多晶硅晶须(Poly-silicon Filaments)衬底损伤(Substrate Damage)物理损伤(Mechanical Damage)等。
二、器件本身固有的亮点饱和 / 有源状态的双极晶体管(Saturated/Active Bipolar Transistors)饱和状态的 MOS 管 / 动态 CMOS(Saturated MOS/Dynamic CMOS)正向偏置二极管 / 反向偏置二极管(击穿状态)(Forward Biased Diodes / Reverse Biased Diodes (Breakdown))等。 显微微光显微镜仪器为提升微光显微镜探测力,我司多种光学物镜可选,用户可依样品工艺与结构选装,满足不同微光探测需求。
失效背景调查就像是为芯片失效分析开启 “导航系统”,能帮助分析人员快速了解芯片的基本情况,为后续工作奠定基础。收集芯片型号是首要任务,不同型号的芯片在结构、功能和特性上存在差异,这是开展分析的基础信息。同时,了解芯片的应用场景也不可或缺,是用于消费电子、工业控制还是航空航天等领域,不同的应用场景对芯片的性能要求不同,失效原因也可能大相径庭。
失效模式的收集同样关键,短路、漏电、功能异常等不同的失效模式,指向的潜在问题各不相同。比如短路可能是由于内部线路故障,而漏电则可能与芯片的绝缘性能有关。失效比例的统计也有重要意义,如果同一批次芯片失效比例较高,可能暗示着设计缺陷或制程问题;如果只是个别芯片失效,那么应用不当的可能性相对较大。
致晟光电作为专注于微光显微镜与热红外显微镜应用的技术团队,设备在微小目标定位、热分布成像等场景中具备高分辨率优势,可广泛应用于芯片、PCB板、显示屏等消费电子元器件的检测环节,为您提供客观的物理位置或热分布定位数据。
为让您更直观了解设备的定位精度与适用性,我们诚挚邀请贵单位参与样品测试合作:若您有需要进行微光定位(如细微结构位置标记、表面瑕疵定位)或热红外定位(如元器件发热点分布、温度梯度成像)的样品,可邮寄至我方实验室。我们将提供专业检测服务,输出包含图像、坐标、数值等在内的定位数据报告(注:报告呈现客观检测结果,不做定性或定量结论判断)。测试过程中,我们会根据您的需求调整检测参数,确保定位数据贴合实际应用场景。若您对设备的定位效果认可,可进一步洽谈设备采购或长期检测服务合作。 我司微光显微镜可检测 TFT LCD 面板及 PCB/PCBA 金属线路缺陷和短路点,为质量控制与维修提供高效准确方法。
RTTLIT E20 微光显微分析系统(EMMI)是专为半导体器件漏电缺陷检测量身打造的高精度检测设备,其系统搭载 -80℃制冷型 InGaAs 探测器与高分辨率显微物镜 ,构建起超高灵敏度检测体系 —— 可准确捕捉器件在微弱漏电流下产生的极微弱微光信号,实现纳米级缺陷的可视化成像。通过超高灵敏度成像技术,设备能快速定位漏电缺陷并完成深度分析,为工程师提供直观的缺陷数据支撑,助力优化生产工艺、提升产品可靠性。从芯片研发到量产质控,RTTLIT E20 以稳定可靠的性能,为半导体器件全生命周期的质量保障提供科学解决方案,是半导体行业提升良率的关键检测利器。我司微光显微镜分析 PCB/PCBA 失效元器件周围光子,可判断其是否失效及类型位置,提高维修效率、降低成本。低温热微光显微镜运动
其内置的图像分析软件,可测量亮点尺寸与亮度,为量化评估缺陷严重程度提供数据。自销微光显微镜批量定制
光束诱导电阻变化(OBIRCH)功能与微光显微镜(EMMI)技术常被集成于同一检测系统,合称为光发射显微镜(PEM,PhotoEmissionMicroscope)。
二者在原理与应用上形成巧妙互补,能够协同应对集成电路中绝大多数失效模式,大幅提升失效分析的全面性与效率。OBIRCH技术的独特优势在于,即便失效点被金属层覆盖形成“热点”,其仍能通过光束照射引发的电阻变化特性实现精细检测——这恰好弥补了EMMI在金属遮挡区域光信号捕捉受限的不足。
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