光源：提供相干光，通常是激光，因为激光具有高度的相干性，能够产生稳定的干涉条纹。分束器：将光束分成两部分，通常使用半透半反镜或分光棱镜。反射镜：调节光程差，确保两束光在干涉屏（或检测器）上相遇时具有合适的相位差。干涉屏（或检测器）：显示干涉结果，或将干涉后的光束转换为电信号进行进一步分析。三、分类干涉仪可以按照不同的分类原则进行分类，常见的分类方法包括：按结构区分：分为单路径干涉仪和多路径干涉仪。单路径干涉仪中，干涉的波通过同一路径传播，如Sagnac干涉仪、等倾干涉和等厚干涉等；而多路径干涉仪中，干涉的波通过不同的路径传播，如迈克尔逊干涉仪。即使光强衰减90%，仍然可以得到有效的干涉信号。昆山耐用双频激光干涉仪维保

常见的干涉仪包括：迈克尔逊干涉仪：由阿尔伯特·迈克尔逊发明，主要用于测量光的波长、干涉条纹的变化等。它通过将光束分成两部分，分别经过不同的路径后再合并，形成干涉图样。法布里-佩**涉仪：由查尔斯·法布里和阿尔弗雷德·佩罗发明，主要用于高精度的光谱分析。它通过多次反射在两个平面镜之间形成干涉。光纤干涉仪：利用光纤中的光波干涉现象，广泛应用于传感器、通信等领域。干涉仪的应用包括测量微小位移、折射率、波长、材料的光学特性等。在科学研究和工业检测中，干涉仪是一种非常重要的工具。姑苏区本地双频激光干涉仪性价比抗干扰能力强：由于使用了两种不同频率的激光，干涉仪对环境噪声和振动的抗干扰能力较强。

环境适应力强：双频激光干涉仪采用交流放大器对干涉信号进行放大，即使光强衰减90%，仍然可以得到有效的干涉信号。因此，它既可在恒温、恒湿、防震的计量室内使用，也可在普通车间内为大型机床的刻度进行标定。实时动态测速高：现代的双频激光干涉仪测速普遍达到1m/s，有的甚至达到十几m/s，适于高速动态测量。三、应用领域几何量精密测量：用于长度、角度、直线度、平行度、平面度、垂直度等几何量的高精度测量。同时，既支持几十米大量程的检测（如大型机械），也可对手表零件等微米级运动进行测量。

另一方面，当可动棱镜移动时，前者的干涉信号是在**亮和**暗之间缓慢变化的信号，而后者的干涉信号是使原有的交流信号频率增加或减少了△f，结果依然是一个交流信号。因而对于双频激光干涉仪来说，可用放大倍数较大的交流放大器对干涉信号进行放大，这样，即使光强衰减90%，依然可以得到合适的电信号。精度高双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。即使不做细分也可达到μm量级，细分后更可达到nm量级。应用范围广双频激光干涉仪除了可用于长度的精密测量外，配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等等迈克尔逊干涉仪：由阿尔伯特·迈克尔逊发明，主要用于测量光的波长、干涉条纹的变化等。

分类激光干涉仪主要分为单频激光干涉仪和双频激光干涉仪两种：单频激光干涉仪：在20世纪60年代中期出现，**初用于检定基准线纹尺，后用于在计量室中精密测长。它对环境要求较高，周围大气需处于稳定状态，以避免空气湍流对测量结果的影响。双频激光干涉仪：出现于1970年，适宜在车间中使用。它应用频率变化来测量位移，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，因此抗干扰能力强。双频激光干涉仪常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。三、应用双频激光干涉仪是一种高精度、高灵敏度的测量工具，适用于各种科学研究和工业应用。姑苏区耐用双频激光干涉仪量大从优

即使不做细分也可达到μm量级，细分后更可达到nm量级。昆山耐用双频激光干涉仪维保

但是这种单频的激光仪并非完美，它的一个根本弱点就是受环境影响严重，在测试环境恶劣，测量距离较长时，这一缺点十分突出。其原因在于它是一种直流测量系统，必然具有直流光平和电平零漂的弊端。激光干涉仪可动反光镜移动时，光电接收器会输出信号，如果信号超过了计数器的触发电平则就会被记录下来，而如果激光束强度发生变化，就有可能使光电信号低于计数器的触发电平而使计数器停止计数，使激光器强度或干涉信号强度变化的主要原因是空气湍流，机床油雾，切削屑对光束的影响，结果光束发生偏移或波面扭曲。昆山耐用双频激光干涉仪维保

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