双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样，双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。双频激光干涉仪可以在恒温，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标测量机等。它既可以对几十米的大量程进行精密测量，也可以对手表零件等微小运动进行精密测量，既可以对几何量如长度、角度．直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量，也可以用于特殊场合，诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。光束合并：两束光在分束器后重新合并，形成干涉图样。相城区附近双频激光干涉仪哪家好

工程测量：用于高精度的长度测量和地形测量。波谱分析：用于分析光谱的精细结构和超精细结构。量子物理实验：用于研究量子光学、原子物理学等领域的物理现象。五、发展历史与现状19世纪的波动论者认为光波或电磁波必须在弹性介质中才得以传播，这种假想的弹性介质称为以太。人们做了一系列实验来验证以太的存在并探求其属性，以干涉原理为基础的实验**为精确，其中**有名的是菲佐实验和迈克耳孙-莫雷实验。随着激光器的发展，干涉仪开始使用激光作为光源，提高了测量的精度和稳定性。到了20世纪70年代以后，随着计算机技术的发展，将激光干涉仪和电子计算机综合起来的许多新的干涉仪，可以实现实时测量。目前，干涉仪已经成为一种重要的精密测量工具，在各个领域发挥着重要作用。相城区附近双频激光干涉仪哪家好利用多普勒效应，计数器计频率差的变化，不受激光强度和磁场变化的影响。

激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频激光干涉仪从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为 激光波长(N 为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。

（3）数控转台分度精度的检测及其自动补偿 现在，利用ML10激光干涉仪加上RX10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置，以任意角度间隔进行全自动测量，其精度达±1。新的国际标准已推荐使用该项新技术。它比传统用自准直仪和多面体的方法不仅节约了大量的测量时间，而且还得到完整的回转轴精度曲线，知晓其精度的每一细节，并给出按相关标准处理的统计结果。（4）双轴定位精度的检测及其自动补偿 雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床，由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度，而且还能通过RS232接口，自动对两轴线性误差分别进行补偿。双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。

(1)接受信号为交流信号，前置放大器为高倍数的交流放大器，不用直流放大，故没有零点漂移等问题。(2)利用多普勒效应，计数器计频率差的变化，不受激光强度和磁场变化的影响。在光强度衰减90%时仍可得到满意的信号，这对于远距离测量是十分重要的，同时在近距离测量时又能简化调整工作。(3)测量精度不受空气湍流的影响，无需预热时间。用激光干涉仪作为机床的测量系统可以提高机床的精度和效率。起初*用于高精度的磨床、镗床和坐标测量机上，以后又用于加工中心的定位系统中。激光发射：激光器发出单色光束。相城区附近双频激光干涉仪哪家好

在科学研究和工业检测中，干涉仪是一种非常重要的工具。相城区附近双频激光干涉仪哪家好

多普勒效应：当测量镜移动时，测量光的频率变为f1±Δf，与参考光f2干涉后形成差频信号|(f1±Δf)-f2|，该信号反映出位移引起的频率变化。信号检测：光电探测器将光信号转为电信号，经电路处理提取差频变化量，然后通过相位比较或脉冲计数来计算位移。二、主要特点精度高：双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量，即使不做细分也可达到微米（μm）量级，细分后更可达到纳米（nm）量级。应用范围广：双频激光干涉仪可用于长度的精密测量，配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等。相城区附近双频激光干涉仪哪家好

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