环境适应力强：双频激光干涉仪采用交流放大器对干涉信号进行放大，即使光强衰减90%，仍然可以得到有效的干涉信号。因此，它既可在恒温、恒湿、防震的计量室内使用，也可在普通车间内为大型机床的刻度进行标定。实时动态测速高：现代的双频激光干涉仪测速普遍达到1m/s，有的甚至达到十几m/s，适于高速动态测量。三、应用领域几何量精密测量：用于长度、角度、直线度、平行度、平面度、垂直度等几何量的高精度测量。同时，既支持几十米大量程的检测（如大型机械），也可对手表零件等微米级运动进行测量。利用多普勒效应，计数器计频率差的变化，不受激光强度和磁场变化的影响?；⑶鹎驴钏导す飧缮嬉巧璞赋Ъ?/p>

激光干涉仪是一种高精度的测量工具，以下是对其的详细介绍：一、定义与原理激光干涉仪是以激光波长为已知长度，利用迈克尔逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。其工作原理基于干涉原理，即当两束波重叠并结合时，会产生新的波形模式。在激光干涉仪中，激光束被分为两路，一路经固定反射镜反射，另一路经可动反射镜反射，两束光重新汇合时产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化被转换为电信号，进而计算出位移量?；⑶鹎陀盟导す飧缮嬉堑ゼ塾捎谄涓呔群透吡槊舳?，激光干涉仪在科学研究和工业应用中都具有重要的地位。

分类激光干涉仪主要分为单频激光干涉仪和双频激光干涉仪两种：单频激光干涉仪：在20世纪60年代中期出现，**初用于检定基准线纹尺，后用于在计量室中精密测长。它对环境要求较高，周围大气需处于稳定状态，以避免空气湍流对测量结果的影响。双频激光干涉仪：出现于1970年，适宜在车间中使用。它应用频率变化来测量位移，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，因此抗干扰能力强。双频激光干涉仪常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。三、应用

三角运算给出其中叠加后的振幅为可以看到， 叠加后的振幅与两列波的初始相位差有关。 由于幅度变化依赖于相位差的余弦函数， 这种幅度的变化有时候在空间表现为周期性的条纹。 这种条纹有时候叫做干涉条纹， 由于相位差变化引起的幅度变化有时也称为条纹移动。分类干涉仪的分类有不同分法按照结构区分干涉仪可以分为单路径干涉仪和多路径干涉仪两类， 其差异在于干涉的波是否通过同一路径传播。 例如迈克尔逊干涉仪就是常见的多路径干涉仪， 而Sagnac干涉仪， 等倾干涉和等厚干涉等即为单路径干涉仪（钟锡华， 陈熙谋， 2002） [3]。光电探测器将光信号转为电信号，经电路处理提取差频变化量，然后通过相位比较或脉冲计数来计算位移。

双频激光干涉仪是一种利用两种不同频率的激光光源进行干涉测量的仪器。它通常用于高精度的位移、振动、形变等物理量的测量。双频激光干涉仪的工作原理基于光的干涉现象，即当两束相干光相遇时，会产生干涉条纹，条纹的变化可以用来精确测量物体的位移或其他物理量。主要特点和应用：高精度：双频激光干涉仪能够实现亚纳米级别的测量精度，适用于微小位移的检测。抗干扰能力强：由于使用了两种不同频率的激光，干涉仪对环境噪声和振动的抗干扰能力较强。其原因在于它是一种直流测量系统，必然具有直流光平和电平零漂的弊端。吴中区附近双频激光干涉仪销售厂

高精度：双频激光干涉仪能够实现亚纳米级别的测量精度，适用于微小位移的检测?；⑶鹎驴钏导す飧缮嬉巧璞赋Ъ?/p>

光源：提供相干光，通常是激光，因为激光具有高度的相干性，能够产生稳定的干涉条纹。分束器：将光束分成两部分，通常使用半透半反镜或分光棱镜。反射镜：调节光程差，确保两束光在干涉屏（或检测器）上相遇时具有合适的相位差。干涉屏（或检测器）：显示干涉结果，或将干涉后的光束转换为电信号进行进一步分析。三、分类干涉仪可以按照不同的分类原则进行分类，常见的分类方法包括：按结构区分：分为单路径干涉仪和多路径干涉仪。单路径干涉仪中，干涉的波通过同一路径传播，如Sagnac干涉仪、等倾干涉和等厚干涉等；而多路径干涉仪中，干涉的波通过不同的路径传播，如迈克尔逊干涉仪?；⑶鹎驴钏导す飧缮嬉巧璞赋Ъ?/p>

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