按干涉光来源区分：分为波前分解干涉仪和幅度分解干涉仪。波前分解干涉仪利用波前上不同位置的子波源形成干涉，如杨氏双缝干涉；而幅度分解干涉仪则通过界面部分反射等方式将一束入射光分为两束或多束形成干涉，如斐索干涉仪、迈克尔逊干涉仪和法布里-珀**涉仪等。四、应用干涉仪在多个领域都有广泛应用，包括但不限于：光学测量：用于测量光波的波长、频率和相位差。材料科学：用于分析材料的折射率、厚度和表面形貌。生物医学：用于显微镜成像、生物传感和医学诊断。天文学：用于测量星体的直径等。用稳频的氦氖激光器作为光源，由于它的相干长度很大，干涉仪的测量范围可以扩展；工业园区耐用双频激光干涉仪维保

多普勒效应：当测量镜移动时，测量光的频率变为f1±Δf，与参考光f2干涉后形成差频信号|(f1±Δf)-f2|，该信号反映出位移引起的频率变化。信号检测：光电探测器将光信号转为电信号，经电路处理提取差频变化量，然后通过相位比较或脉冲计数来计算位移。二、主要特点精度高：双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量，即使不做细分也可达到微米（μm）量级，细分后更可达到纳米（nm）量级。应用范围广：双频激光干涉仪可用于长度的精密测量，配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等。工业园区耐用双频激光干涉仪维保高精度：双频激光干涉仪能够实现亚纳米级别的测量精度，适用于微小位移的检测。

（3）数控转台分度精度的检测及其自动补偿 现在，利用ML10激光干涉仪加上RX10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置，以任意角度间隔进行全自动测量，其精度达±1。新的国际标准已推荐使用该项新技术。它比传统用自准直仪和多面体的方法不仅节约了大量的测量时间，而且还得到完整的回转轴精度曲线，知晓其精度的每一细节，并给出按相关标准处理的统计结果。（4）双轴定位精度的检测及其自动补偿 雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床，由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度，而且还能通过RS232接口，自动对两轴线性误差分别进行补偿。

这路光束和由固定反射镜反射回来*含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-（f2±Δf）的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为*含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算（乘 1/2激光波长）后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。由于其高精度和高灵敏度，激光干涉仪在科学研究和工业应用中都具有重要的地位。

另一方面，当可动棱镜移动时，前者的干涉信号是在**亮和**暗之间缓慢变化的信号，而后者的干涉信号是使原有的交流信号频率增加或减少了△f，结果依然是一个交流信号。因而对于双频激光干涉仪来说，可用放大倍数较大的交流放大器对干涉信号进行放大，这样，即使光强衰减90%，依然可以得到合适的电信号。精度高双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。即使不做细分也可达到μm量级，细分后更可达到nm量级。应用范围广双频激光干涉仪除了可用于长度的精密测量外，配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等等广泛应用：广泛应用于材料科学、机械工程、光学测量、精密制造等领域。江苏直销双频激光干涉仪产品介绍

在科学研究和工业检测中，干涉仪是一种非常重要的工具。工业园区耐用双频激光干涉仪维保

截止***，激光干涉仪引力波探测器已经发展了40余年。 目前LIGO激光干涉仪实验宣称***直接测量到了引力波 (LIGO collaboration 2016) [7]。 LIGO可以认为是两路光线的干涉仪， 而另外一类引力波探测实验， 脉冲星测时阵列则可认为是多路光线干涉仪（Hellings 和Downs, 1983） [8]。其他用作高分辨率光谱仪。法布里-珀**涉仪等多光束干涉仪具有很尖锐的干涉极大，因而有极高的光谱分辨率，常用作光谱的精细结构和超精细结构分析。历史上的作用。19世纪的波动论者认为光波或电磁波必须在弹性介质中才得以传播，这种假想的弹性介质称为以太。工业园区耐用双频激光干涉仪维保

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