日本KASHIYAMA干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:1)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;2)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;3)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;4)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。5)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求.浚和(上海)仪器科技有限公司是一家专业提供干式真空泵 的公司,期待您的光临!无锡NEODRY 60E干式真空泵维修点
干式螺杆真空泵选型干式螺杆真空泵在其工作压力下,应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选择在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。选择真空机组:了解被抽气体成分,气体中含不含 可凝蒸汽,有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择干式螺杆真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。干式螺杆真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。东莞NEODRY 30E干式真空泵维修点干式真空泵 ,就选浚和(上海)仪器科技有限公司,用户的信赖之选,有需求可以来电咨询!
在半导体制造中,干式真空泵的作用不可替代。晶圆加工过程中的许多环节需要超高真空环境,任何油蒸气或颗粒污染都可能导致产品良率下降。干式泵凭借其无油特性,能够满足半导体行业对洁净度的苛刻要求。同时,干式泵还能处理腐蚀性气体和颗粒负载,适应复杂的工艺条件。许多半导体设备已将干式真空泵作为标准配置,以确保生产过程的稳定性和产品的一致性。医药行业对生产环境的卫生标准极为严格,干式真空泵在此领域表现出优势。药品生产过程中,避免油污染是确保产品安全的关键。干式泵无需润滑油,从根本上消除了油蒸气混入药品的风险。此外,干式真空泵易于清洁和消毒,符合GMP规范的要求。在冻干、蒸馏、过滤等工艺中,干式泵的高效抽气能力进一步提升了生产效率,同时降低了交叉污染的可能性。
近期很多朋友咨询反馈自己生产中的液环式真空泵由于夏天温度高,真空度上不去,叶轮也由于腐蚀和气蚀经常换,用的无油螺杆泵、爪泵转子经常被卡死盘不动车,而且由于腐蚀真空度上不去,排气口还有喷油现象。种种现象维修虽然花不了多少钱,但是影响生产,一个班组的人都 等着泵修好,下面的人瞪着眼看着,上面领导脸色又不好,很是尴尬难受!因此我们这一辑内容就来为大家介绍干式真空泵,干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段,如日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,提高了产品的性能和质量。干式真空泵 ,就选浚和(上海)仪器科技有限公司,用户的信赖之选,有想法的不要错过哦!
日本KASHIYAMANEODRY15E技术参数以及配置清单一、NEODRY15E技术参数:式样:NEODRY15EMax排气速度(L/min):250达到压力(Pa):1电源电压:单相AC200-220V外型尺寸WHL[mm]:210×250×385吸气口:KF25噪声:≤60DB排气口:KF25质量【kg】:23kg二、NEODRY15E配置清单:序号描述数量备注1NEODRY15E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选1标配2电源线1标配3产品合格证1标配4气振阀(选配)未包含5消音器(选配)未包含6入口过滤器(选配,非原厂件)未包含干式真空泵 ,就选浚和(上海)仪器科技有限公司,让您满意,欢迎您的来电哦!樫山干式真空泵
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日本KASHIYA品牌干式真空系统还具有比较好的控制系统,有单独的工作站和总线,能很好的解决了温度、压力、转速、电机同步、开停机、阀门开关和泵本身自清洗控制等问题,并且可能存在温升的地方都增加了测温点,增强了系统的安全性。使干泵系统能适应化工、制药里严苛的环境。干式真空泵的工作原理主要依靠机械运动部件直接抽气,无需任何工作液体。常见的类型包括螺杆式、爪式、涡旋式等。这些泵通过精密的转子配合或涡旋运动,实现气体的压缩和排出。由于没有油液润滑,干式泵的材质选择尤为关键,通常采用耐磨、耐高温的特种合金或涂层处理,以确保长期运行的可靠性。这种设计不仅提高了泵的寿命,还降低了能耗,符合现代工业的节能环保趋势。无锡NEODRY 60E干式真空泵维修点