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半导体设备隔振台技术服务

来源: 发布时间:2021-07-29

该系统的固有刚度比1

Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍,可提供出色的方向和位置稳定性。

有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振,这种共振困扰着所有无源隔离系统。


该系统的设计即使在低至2-3Hz的频率下也能提供出色的隔离度,在该频率下,许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。


所有控制电路都内置在该单元**耗小于2.5W。该设备具有通用输入,可以连接到100至240 VAC的任何交流电源。优化设计以实现对诸如扫描探针显微镜(AFM, STM),干涉仪和其他高 分辨率仪器,从而使这些仪器能够达到**终的性能。事实证明,该表在支持灵敏实验(例如膜片钳,显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽)方面非常成功。 主动防振台通过电气控制,向传入振动瞬间施加反方向的力,从而消除振动。半导体设备隔振台技术服务

半导体设备隔振台技术服务,隔振台

所有控制电路都内置在该单元**耗小于2.5W。该设备具有通用输入,可以连接到100至240 VAC的任何交流电源。优化设计以实现对诸如扫描探针显微镜(AFM, STM),干涉仪和其他高 分辨率仪器,从而使这些仪器能够达到**终的性能。事实证明,该表在支持灵敏实验(例如膜片钳,显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽)方面非常成功。

技术指标:

频率:1.2-300赫兹

负载范围:0-40公斤

尺寸图            300x 300 x 70毫米(长x宽x高)

 11.8x 11.8 x 2.75英寸

 隔离:动态1.2Hz至300Hz,主要在较高频率下为无源

透射率:

高于?10 Hz的透射率<0.01(-40 dB)

矫正力:垂直±8N,水平±4N

静态合规性:27 μm / N

比较大负载(中心负载):40公斤88.18磅

重量:9.2公斤20.3磅

 



半导体设备隔振台技术服务HERZ在被动式隔振系统产品之外,补充了由瑞士Table Stable Ltd.开发的先进主动式隔振系统。

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AVI 200-M

AVI 200-M的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 200-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 200-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 200-M隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单,友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程

技术指标:

频率: 1,2-200 Hz

负载范围: 0-400公斤

(单个):  200公斤

如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。

传感器位置

传感器可以移动到任何期望的位置。 它可能位于负载下方或外部,但必须位于支持AVI元素的同一表面上。 制作后连接时,传感器与AVI单元的方向必须保持不变。


支撑面的刚性

支撑表面的刚性很重要。 水平传感器无法区分在水平加速度和倾斜之间。 LFS和因此,AVI元素所在的位置必须尽可能坚硬,以使其不会明显倾斜当人们在附近移动时。 倾斜会导致传感器输出饱和并失去隔离。


运作方式

设置好并将电源连接到传感器后,就可以使用系统了。按下电源上的电源旋钮打开电源。 绿色LED将点亮。 红色LED开始闪烁,这意味着存在一些振动。现在,您可以通过按启用按钮来启用系统。 红色LED不应点亮了。 如果它们点亮,则表示系统过载且振动建筑物中存在的物体太严重。


请注意,如果未启用LFS,则它将无效。


敏感的传感器单元,请勿撞击,敲打或跌落!


Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统,具有**的防振单元和控制器。

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AVI单元和传感器的方向

隔离单元和LFS传感器必须正确安装,这一点很重要取向!LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI的开关输出以任意4个矩形方向(即平行或成直角)放置的元素。不允许其他方向。


为确保连接正确,请按照下列步骤操作:

面向LFS传感器的蓝色LED站立。 将***个AVI元素连接到以下任意一个后面板上的12个D-Sub15插座。用笔滑动开关在位置A和D之间。



所有AVI元素必须连接到LFS单元上的插槽。正确的开关位置对于获得良好的性能至关重要隔离。



Table Stable通过在发展主动隔振系统的同时补充了被动系统。半导体设备隔振台技术服务

从低频率起提高一个隔振环境。半导体设备隔振台技术服务

5、??榻胖迷诮怕职逑隆=獳VI??榛胶笄憬前逑?,使模块从一侧到另一侧(而不是从前到后)横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧,不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40,则每个隔离??榈目矶任?.5英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝内,相互朝向。如果您安装的是Supra 60/VP、Ultra 60或PLUS、Neon 60或NVision 40,则每个隔离??榈目矶任?1.3英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝外,彼此远离。

6、再次在AVI??槎ゲ炕诙霭沧鞍?,前后各27.5英寸,两侧各27英寸,在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时,确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI??楹桶沧鞍宥疾挥肭岸嘶蚝蠖说纳璧缇抵Ъ芙哟ァ?

7、系统就位后,使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜,直到其落在安装板上。抬起水平尺,直到它们向上并离开。 半导体设备隔振台技术服务

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